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Q150微波等離子清洗機
  • Q150微波等離子清洗機
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貨物所在地:國外

地: 德國

更新時間:2025-01-28 21:00:07

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Q150微波等離子清洗機:Q系列等離子清洗機是石英腔的微波等離子系統,可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統可以用于批處理,也可以作為單片處理,系統為計算機全自動控制的系統。
典型工藝包含:大劑量離子注入后的光刻膠去除;干法刻蝕工藝的前處理或后處理;MEMS制造中的犧牲層去除。

微波等離子清洗去膠技術

Q150微波等離子清洗機概述:Q系列等離子清洗機是石英腔的微波等離子系統,可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統可以用于批處理,也可以作為單片處理,系統為計算機全自動控制的系統。典型工藝包含:大劑量離子注入后的光刻膠去除;干法刻蝕工藝的前處理或后處理;MEMS制造中的犧牲層去除。

Q150微波等離子清洗機工藝參數:

  • 材質:石英玻璃
  • 容積:6公升
  • 腔體尺寸:直徑150mm,深度260mm
  • 腔體后部:鋁
  • 腔門:鋁質材料制作,抽拉式支撐架跟前門相連,便于手動放片;
  • 氣體分布:前門擴散
  • 觀察視窗:防紫外及微波
  • 支撐架:鋁質材料, 
  • 真空連接:DN25 ISO-KF
  • 壓力控制:Pirani,1-100Pa
  • 真空泵:推薦25m3/h
  • 真空閥:電子氣動閥,DN25 ISO-KF
  • 真空密封:硅樹脂
  • 氣體供應:
  • 氣體通道:1路數字MFC,裝有電磁閥,500sccm(N2校準),1/4" Swagelok接頭
  • 卸壓:電磁閥,1/4" Swagelok接頭
  • 功率:2.45GHz,50-600W連續可調
  • 耦合:微波天線,鋁質諧振器,腔體內無電極

系統控制:

  • PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠程控制)
  • 7"觸摸屏、圖形用戶界面
  • Windows Office兼容
  • 存儲處理數據和錯誤信息,處理數據輸出
  • 工藝參數圖形曲線的 監測
  • 自動或手動操作

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