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那諾中國(guó)有限公司

中級(jí)會(huì)員 | 第11年

: 18916157635

當(dāng)前位置：首頁 >> 資料下載 >> NANO-MASTER產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品分類品牌分類

檢測(cè)系統(tǒng): 飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀 TOF-MS飛行時(shí)間質(zhì)譜儀

刻蝕系統(tǒng): RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng) ICP及DRIE刻蝕系統(tǒng) IBE離子束刻蝕系統(tǒng) RIE-PE刻蝕機(jī)

沉積系統(tǒng): 進(jìn)口光學(xué)鍍膜機(jī) TE熱蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng) E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng) 磁控濺射系統(tǒng) PECVD等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) PLD脈沖激光沉積

生長(zhǎng)系統(tǒng): MOCVD設(shè)備 ALD原子層沉積系統(tǒng) MOVPE設(shè)備

清洗去膠系統(tǒng): 等離子去膠清洗及灰化系統(tǒng) 單晶圓/掩模版兆聲清洗機(jī) 大基片清洗/去膠/濕法刻蝕 MW微波等離子清洗去膠系統(tǒng) 離子束清洗系統(tǒng) 研發(fā)用等離子去膠機(jī)

熱真空試驗(yàn)系統(tǒng): 熱真空試驗(yàn)箱熱真空環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備空間環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備熱真空系統(tǒng)

核心組件: Platens樣品臺(tái) 等離子體源

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NANO-MASTER產(chǎn)品介紹

時(shí)間：2020-6-15閱讀：1299

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那諾中國(guó)有限公司
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NANO-MASTER產(chǎn)品應(yīng)用于LED、微機(jī)電系統(tǒng)、光電子學(xué)、納米技術(shù)、太陽能電池、半導(dǎo)體和空間模擬等。主要產(chǎn)品有用于SiO2/Si3N4/DLC/CNT/石墨烯等沉積的PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積，濺射系統(tǒng)（RF/DC/反應(yīng)濺/共濺/組合濺），熱蒸鍍和E-Beam蒸鍍，ALD原子層沉積，用于InGaN/AlGaN等氮化物沉積的PA-MOCVD，IBE/RIE/ICP/DRIE刻蝕系統(tǒng)，兆聲波無損濕法清洗/去膠/剝離/刻蝕系統(tǒng)，熱真空系統(tǒng)。