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| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 醫療衛生,化工,能源,電子,電氣 |
HORIBA提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的類型。
產品簡介
詳細介紹
HORIBA SEC-N112JM質量流量控制器
概要
適用于多種不同的產業應用。可實現大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。
*1包括SEC-N177R
SEC-N112JM產品特性
1.數字式/ 模擬式通信
RS-485/DeviceNet/Profibus/模擬式（電流/電壓）
2.可與其它系列產品兼容
復合氣體 / 復合量程
3.可以方便的在客戶端更改對應氣體和量程
高精度控制： ±1.0% 設定流量.
選用與SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.
4.快速響應： 在可控流量范圍內,響應時間≦1 sec
5.內置PID參數，可以調整響應時間
6.氣閥種類
電磁閥 (~50SLM)
壓電陶瓷閥 (100/200SLM)
7.密封圈材質 ：橡膠 或 金屬
8.氣路表面 ： 未經拋光處理
9.接口 ： 僅有VCR接口
RoHS要求： 滿足RoHS要求
氣體質量流量控制器&氣體流量計
HORIBA提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的類型。我們可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取決于產品型號)。我們產品的流量范圍可覆蓋微量流量直至超大流量。
*1 Devicenet是一種通訊方式的標志。
*2 PROFIBUS是一種化的通訊方式標志。
HORIBA SEC-N112JM質量流量控制器
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