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HORIBA S500熱式質量流量計,氣體質量流量計,質量流量控制器
特點；高精度
快速響應
自動調零
任意角度安裝
HORIBA S500熱式氣體質量流量計

HORIBA S500熱式氣體質量流量計

HORIBA S500熱式質量流量計,氣體質量流量計,質量流量控制器

特點；

產品規格

型號	S500 (規格Type AR111)
外部密封	氟橡膠
接觸氣體材料	SUS316L,氟橡膠,磁性不銹鋼
調節閥類型	非通電時常閉
滿量程流量(N2換算流量)	10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min 1,2,3,5,10,20,30 L/min
流量控制范圍	2%～100%F.S. (0.1～5V DC)
流量測量范圍	0～100%F.S. (0～5V DC)
響應時間（輸出電壓）	1秒　(保證 1.5秒以內T98)
工作環境溫度	5～45℃　(精度保證　15～35℃)
流量精度	±1.0%F.S.
線性	±0.5%F.S.
重復性	±0.2%F.S.
工作壓差	10mL/min～5L/min :50～300kPa(d) 10L/min～30L/min :100～300kPa(d)
大工作（使用）壓力	300kPa(G)
耐壓	3MPa(G)
泄漏率	1×10-8Pa?1?1m3/s(He)以下
流量設定信號	0.1～5VDC(2%～100%F.S.)
流量輸出信號	0～5VDC(0%～100%F.S.)
供電電源	+15V±5% 100mA以下－15V±5% 150mA以下
管路接頭	1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR
安裝角度	任意
電氣接頭	D-Sub　15pin
輸入輸出阻抗	輸入：1MΩ以上　　輸出：3mA以下
附加功能	Auto-zero、Auto-close

**滿量程流量50mL/min一下的響應時間為2S以內 HORIBA S500熱式氣體質量流量計

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