HORIBA S600氣體質量流量控制器

 1、概述
本產品為熱式質量流量控制器，利用氣流流過毛細管，改變毛細管溫度分布， 造成上下游溫差方法，而測得氣體質量流量。不同于容積式流量計，其流量精度 不受氣體壓力、環境溫度影響。由于上下游溫差總是實時反映氣流瞬時流量，所 以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。
1.1 使用范圍
質量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環境等行 業的氣流測量與控制。
1.2 質量流量控制器和質量流量計 質量流量控制器(MassFlowController 縮寫為MFC)，具備流量測量和流量控 制兩種功能。 質量流量計(MassFlowMeter 縮寫為MFM)，只有流量測量功能，不具備氣流 控制功能。

  S600 質量流量控制器的特點

 ☆ S600型質量流量控制器是由日本HORIBASTEC針對中國國內需求而研制 的一種數字式質量流量控制器產品，采用32位CPU做數字控制。具有流量穩定性 好，精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小等特點。

 ☆ 兩種通信協議可選，F-NET 協議和ProfibusDP-V0 從站協議。 RS485串口， F-NET 協議。易于多臺控制器組網，簡單易用。配合上位 機， 可進行各種復雜的計量、控制操作及組態。 PROFIBUSDP-V0 從站協議。具有穩定的標準作保證，可同時實現 集中控制、分散控制和混合控制。配合上位機，可進行各種復雜的計量、控制操 作及組態。

 ☆氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。

 ☆閥體采用不銹鋼(316L)結構，氣密材料采用金屬、氟橡膠等。耐腐蝕性強。 線路板、傳感器、(≤50L)密封圈，（大于50L）、方墊片、噴嘴等重要零部 件，均執行嚴格的入廠檢驗標準。

 ☆可任意角度安裝。 ☆兼容數字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動控制系統配合。

 ☆由日本HORIBASTEC團隊設計開發，關鍵零部件進口

HORIBA S600氣體質量流量控制器