HORIBA STEC SEC-142JM質量流量控制器

概要

適用于多種不同的產業應用。可實現大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。

*1包括SEC-N177R

特征

• 大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
• 多種通訊方式及電源供給

 HORIBA STEC SEC-142JM質量流量控制器

n數字式/ 模擬式通信

lRS-485/DeviceNet/Profibus/模擬式（電流/電壓）

l可與其它系列產品兼容

n復合氣體 / 復合量程

l可以方便的在客戶端更改對應氣體和量程

n高精度控制： ±1.0% 設定流量.

l選用與SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.

n快速響應：   在可控流量范圍內,響應時間≦1 sec

l內置PID參數，可以調整響應時間

n氣閥種類

l 電磁閥 (~50SLM)

l 壓電陶瓷閥 (100/200SLM)

n密封圈材質 ：橡膠 或 金屬

n氣路表面 ：  未經拋光處理

n接口 ：      僅有VCR接口

nRoHS要求：   滿足RoHS要求

氣體質量流量控制器&氣體流量計

HORIBA提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的類型。我們可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數字式、DeviceNet™ (^*1), 以及PROFIBUS™(^*2) (取決于產品型號)。我們產品的流量范圍可覆蓋微量流量直至大流量。

^*1 Devicenet是一種通訊方式的標志。
^*2 PROFIBUS是一種化的通訊方式標志。