本公司提供高真空腔體,客戶可自行為一些實驗搭建真空系統,如等離子濺射,CVD或ALD等實驗,同時也可作為高真空儲存箱。
技術參數
腔體 | - 真空腔體是采用304不銹鋼制作
- 內部尺寸為:372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H)
- 真空腔體前部安裝有一個直徑為350mm的門,而且門上面有一個直徑為150mm的玻璃窗口
- 門部位采用硅膠密封圈密封
- 真空度可達到1×10-6 torr
- 內部加熱平臺的溫度可達到150℃
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接口 | - 腔體后端有一個KF40接口,用于連接真空泵
- 頂部有一1/4 NPS
- 頂板可以進行打孔和改造,以便于安裝各種接口和接頭
- 客戶可在本公司購買快速真空接頭
  
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可選 | - 本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換(請點擊圖片查看詳情)
- 分子泵系統
 
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外形尺寸 |   |
質保期 | 一年質保期,終身維護 |