目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>表面微納測量>>光學薄膜測厚儀>> FPTOH-TOHOSPEC3100進口光學薄膜測厚儀
薄膜測厚儀是高精度薄膜厚度測量系統,采用小光斑光譜反射計獲得薄膜厚度信息,可靠的固態線性二極管陣列可快速、精確地測量單層薄膜，如氧化物、氮化物和光刻膠，以及厚度范圍為100?至30µm的多達3層薄膜堆疊的頂層。
該薄膜測厚儀系統具有卓yue的價值，配有多達15種標準薄膜厚度測量算法，在世界各地的實驗室中使用，以緊湊的設計提供精確的薄膜厚度測量。
薄膜測厚儀應用
大量應用中提供精確的薄膜厚度測量。保證3層測量，在某些情況下根據參數超過3層。測量具有一定反射率的***光滑或半光滑表面
LED,太陽能，FPD/LCD，OLED，Photomask，電源設備，SOI,HDD磁頭等。
薄膜測厚儀規格參數
薄膜層數：***多3層
波長范圍：380-800nm
重復精度：2 ?
薄膜類型：可測
n&k數值：可測
測量時間：0.1-25秒
可測薄膜厚度：100?~30um
可測晶圓尺寸：3,4,5,6,8英寸
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