多光子聚合激光工作站FemtoMPP是采用飛秒激光增材技術的
飛秒激光多光子聚合光刻機,多光子聚合實驗系統(tǒng),采用立陶宛Lightconversion公司的Pharos或Carbide飛秒激光器.
多光子聚合激光工作站特點制造具有亞微米分辨率的復雜物體
高速超高精度微加工
有效的光束傳輸和功率控制
Lightconversion公司的Pharos或Carbide飛秒激光器
高性能掃描振鏡
物體運動和激光脈沖在時間和空間上的同步。
控制所有硬件單元的軟件接口。
多光子聚合激光工作站加工結果
多光子聚合激光工作站配置
| 標準型 | 高級型 | 客戶訂制型號 |
|---|
| 激光微加工技術 | 光刻膠激光增材 | 光刻膠激光增材 | 客戶選擇 |
| 激光 | 單/雙波長飛秒激光 | 近紅外、綠光、紫外激光 | 客戶選擇 |
| XY特征大小 | 300nm | 150nm（典型值200nm） | STED可選 |
| ***佳 XY分辨率 | 700nm | 300nm | 取決于系統(tǒng)方案 |
| ***佳豎直分辨率 | 1.5um | 0.5um |
| Layer distance | 0.5-1µm | 0.05–3µm |
| ***大樣品高度 | 1mm | 10mm |
| 構建體積 | 10x10x0.5mm | 60x60x10mm |
| ***大工作范圍 | 60x60x5mm | 100x100x35mm | 客戶選擇 |
| ***小表面粗糙度，Ra | 50nm | 30nm | 取決于方案 |
| 掃描速度 | 0.1-1 mm/s | 0.1-100 mm/s |
| 自動聚焦 | —— | 包括 | 客戶的選擇 |
| 功率控制 | 集成激光衰減器 | 集成激光衰減器 | 激光衰減器 |
| 振動去除 | 被動技術 | 隔振臺 | 客戶選擇 |
多光子聚合激光工作站加工結果 
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