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高精度激光測振儀是采用邁克爾遜干涉儀技術(shù)的激光納米測振儀和微量振動測量儀,單點測量分辨率高達(dá)亞pm,成像模式分辨率高達(dá)0.1nm,掃描分辨率高達(dá)1nm,還能給出1Hz至2.5MHz的FFT頻譜和2.5MHz以下的彎曲振動模態(tài)bending modes。
高精度激光測振儀全面滿足日益苛刻的研發(fā)和品質(zhì)控制需要和對MEMS微機電系統(tǒng)的需求,通過在樣品上用邁克爾遜干涉儀的聚焦激光束進(jìn)行光柵掃描來實現(xiàn)，對微量振動進(jìn)行百萬像素微觀結(jié)構(gòu)振動成像,測量顯微圖像中每個像素的振動。、
高精度激光測振儀配有壓電式樣品振動器和數(shù)字鎖定放大器,用于測量振動的振幅和相位，從中可以重建2.5MHz以下的彎曲模態(tài)bending modes。

高精度激光測振儀特色：
所用邁克爾遜干涉儀激光束同時用于記錄樣品的共焦反射圖像,該圖像本質(zhì)上與振動測量*。因此，不需要額外的顯微鏡成像系統(tǒng)。
即使控制器和兼容UHV的掃描儀結(jié)構(gòu)非常緊湊,也可提供20毫米尺寸的掃描能力。

高精度激光測振儀系統(tǒng)組件：

包含干涉儀、函數(shù)發(fā)生器和鎖定放大器（33 cm x 28 cm x 7.5 cm）

運動控制器：執(zhí)行XYZ定位器的閉環(huán)操作，并包含用于振動臺（33 cm x 28 cm x 7.5 cm）的功率放大器。

XYZ掃描儀（10 cm x 5.5 cm x 7.5 cm），用于光柵掃描樣品上的聚焦激光頭。

花崗巖板（20 cm x 15 cm x 4 cm），帶直徑2.5 cm的柱，用于安裝掃描儀

帶支架的振動臺

高精度激光測振儀規(guī)格參數(shù)

工作原理：邁克爾遜干涉儀，單模光纖耦合

測量激光：1550nmDFB激光二極管，穩(wěn)定（NIST可追蹤），功率輸出<1 mW（激光等級1）

激光光斑直徑：7µm（焦點處）

分辨率：單點測量為亞pm，成像模式為0.1nm。

成像模式：振幅和相位圖像可以使用所含軟件進(jìn)行分析或?qū)С觥?/p>

單點模式：1Hz至2.5MHz的FFT頻譜，大250萬點

數(shù)字鎖定放大器

頻率范圍：500 Hz-2.5 MHz

參考信號：可通過標(biāo)準(zhǔn)振動臺和輸出信號驅(qū)動定制執(zhí)行器。

時間常數(shù)：可從1微秒調(diào)節(jié)到0.5毫秒

動態(tài)存儲：>100分貝

光學(xué)顯微鏡：

工作原理：共焦激光掃描干涉儀測量激光

焦距調(diào)整：手動或自動，帶閉環(huán)壓電驅(qū)動

橫向分辨率：5µm

小像素尺寸：1µm

大圖像尺寸：20 x 20 mm

大像素數(shù)：1000 x 1000
掃描系統(tǒng)：

工作原理：三軸線性壓電驅(qū)動，閉環(huán)

分辨率：1nm

重復(fù)精度：30nm

大行程：20 mm（其他根據(jù)要求定制）
尺寸

控制器：每個33.0 x 27.0 x 7.0 cm（W x L x H）2個

掃描儀安裝：花崗巖石材15.0 x 20.0 x 4.0 cm（W x L x H），不銹鋼柱2.5 x 15.0 cm（ L x H）

掃描臺：5.5 x 11.0 x 7.5厘米（W x L x H）

振動臺：不銹鋼8.0 x 1.5 cm（ L x H）