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電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點。
電容式位移傳感器：非接觸式高分辨率近距離位移測量
電容式位移傳感器：非接觸式高分辨率近距離位移測量
美國Microsense公司(前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司)開創(chuàng)了高辨率電容式位移傳感器的先河，致力于為客戶提供以藝術(shù)級別性能的高精度非接觸式微位移傳感器。
電容式位移傳感器特性
1.*非接觸式電容式微位移測量—準(zhǔn)確的電子感應(yīng)技術(shù), 無損樣品測量
2.優(yōu)化的近距離測量—測量距離在10微米到5毫米
3.高準(zhǔn)確性，高靈敏性測量，精度可達(dá)0.5nm。
4.可探測任何可傳導(dǎo)性、接地的測量目標(biāo)—表面是否拋光以及材質(zhì)對測量準(zhǔn)確度無任何影響
5.用途廣泛: 金屬薄片厚度測量,振動測量,工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量,精密馬達(dá)轉(zhuǎn)軸偏振測量(Axial, Radial, Spindle runout),精密儀器工作平臺定 位，設(shè)備自動聚焦測量(微影設(shè)備，原子力顯微鏡，光罩探測，圖像確認(rèn)，LCD生產(chǎn)設(shè)備…)
4800系列 5800系列6800系列8800系列 6360厚度測量系統(tǒng)
4800系列 以至優(yōu)化的線性和穩(wěn)定性著稱, 一款多功能測量設(shè)備
5800系列 以高動態(tài)測量著稱--高分辨率測量，可達(dá)100Khz 帶寬測量，可靠性測量甚至達(dá)觸
地物例如氣動轉(zhuǎn)子和馬達(dá)
6800系列 擁有皮米級別噪聲分辨率
8800系列 以擁有*好的線性和穩(wěn)定性系統(tǒng)著稱，測量帶寬高達(dá)20K HZ,納米級分辨率，超低
噪聲上乘的伺服定位反饋系統(tǒng)設(shè)計
Mini系列 迷你壓縮型傳感器測量系統(tǒng)
6360系列 非接觸式，高精度測量硅片、CD、DVD、光盤厚度
圓柱型測量探頭 45°傾角測量探頭 矩型測量探頭 直角型測量探頭
圓柱型測量探頭 45°傾角測量探頭 矩型測量探頭 直角型測量探頭
圓柱型測量探頭探頭直徑0.5mm 到5mm 可選
45°傾角測量探頭 可緊貼圓柱形被測物測量
矩型測量探頭 測量馬達(dá)及軸向轉(zhuǎn)動物時可提供*大分辨率
直角型測量探頭用于測量受限空間測量
設(shè)備應(yīng)用
定位測量系統(tǒng)應(yīng)用：遠(yuǎn)程位置調(diào)節(jié)器的伺服反饋系統(tǒng)應(yīng)用
間距和位移測量應(yīng)用 ：空間測量及檢測 軸向位移測量
轉(zhuǎn)動測量系統(tǒng)應(yīng)用：馬達(dá)精度和轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動測量 轉(zhuǎn)軸測量計精度校準(zhǔn)測量 直線和平面平臺精度測量
厚度測量系統(tǒng)應(yīng)用：磁性介質(zhì)厚度測量 光盤厚度測量
自動聚焦和歸零測量應(yīng)用：半導(dǎo)體硅片測量
振動測量系統(tǒng)應(yīng)用：樣品臺精度振動測量 轉(zhuǎn)軸振動精度測量 主動性防震系統(tǒng)反饋測量
設(shè)備性能及主要參數(shù)
1.量程： ±25µm 到±1000µm滿量程測量
2.分辨率： 優(yōu)于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
3.帶寬： 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可選
