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2023
06-08光學(xué)光刻技術(shù)（Optical lithography）
1.簡介光學(xué)光刻（Opticallithography），也稱為光學(xué)平版印刷術(shù)或紫外光刻，是在其他處理步驟（例如沉積，蝕刻，摻雜）之前用光刻膠對掩模和樣品進(jìn)行構(gòu)圖的方法。2.設(shè)備（接近式光刻機）2.1...2023
02-162023
02-14光學(xué)膜厚儀廣泛應(yīng)用于各種薄膜產(chǎn)品的測量
光學(xué)膜厚儀的薄膜光譜反射系統(tǒng)，可以很簡單快速地獲得薄膜的厚度及nk，采用r-θ極坐標(biāo)移動平臺，可以在幾秒鐘的時間內(nèi)快速的定位所需測試的點并測試厚度，可隨意選擇一種或極坐標(biāo)形、或方形、或線性的圖形模式，...2023
01-112023
01-102023
01-102022
12-142022
11-252022
11-252023
03-162022
11-24ThetaMetrisis膜厚儀用于氧化釔 (Y2O3) 涂層厚度測量
接下來為大家介紹ThetaMetrisis膜厚儀在氧化釔(Y2O3)涂層厚度方面的測量應(yīng)用。ThetaMetrisis膜厚儀可快速準(zhǔn)確地繪制大尺寸氧化鋁陶瓷圓盤上的抗等離子涂層Y2O3厚度。1、案例介...2022
11-24FR-Scanner-AIO-Mic-XY200: 微米級精度膜厚儀簡介
FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動薄膜厚度測繪系統(tǒng)，光學(xué)膜厚儀用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸200mmx200mm的行程，可在20...2022
11-212023
03-162022
10-242022
10-192022
10-19ThetaMetrisis 自動化薄膜厚度測繪系統(tǒng)介紹
FR-Scanner-AIO-Mic-XY200:微米級定位精度自動化薄膜厚度測繪系統(tǒng)介紹FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動薄膜厚度測繪系統(tǒng)，用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層...2022
10-184H-SiC 外延層中堆垛層錯與襯底缺陷的關(guān)聯(lián)性研究
1.摘要本研究探討了同質(zhì)外延生長的4H-SiC晶片表面堆垛層錯(SF)的形貌特征和起因。依據(jù)表面缺陷檢測設(shè)備KLA-TencorCS920的光致發(fā)光(PL)通道和形貌通道的特點,將SF分為五類。其中I...2022
09-02薄膜的厚度檢測在薄膜制造及加工業(yè)是常見的指標(biāo)之一
在薄膜制造及加工業(yè)，檢測薄膜的厚度是常見的薄膜檢測指標(biāo)之一，厚度檢測又多分為薄膜厚度檢測以及涂層厚度檢測兩類。由于薄膜的厚度是各層樹脂厚度的總和，如果薄膜的整體厚度均勻性差，其中各層樹脂的厚度分布也會...2022
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