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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>物理氣相沉積設(shè)備>FPSEM-STE-MS900 磁控濺射物理氣相沉積PVD系統(tǒng)

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FPSEM-STE-MS900 磁控濺射物理氣相沉積PVD系統(tǒng)

參考價800000-1800000/件
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
  • 品牌孚光精儀
  • 型號FPSEM-STE-MS900
  • 所在地上海市
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時間2024/12/16 11:47:37
  • 訪問次數(shù) 49

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聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


孚光精儀是進(jìn)口精密儀器和實驗室儀器設(shè)備供應(yīng)商,是*基于激光和成像等光子技術(shù)分析測試儀器的規(guī)模性進(jìn)口商和代理商,服務(wù)商。
孚光精儀公司以精密光學(xué)技術(shù)為特色,以光學(xué)應(yīng)用為宗旨,以歐洲,北美和日本進(jìn)口精密儀器為主業(yè),為中國客戶提供*分析測試儀器產(chǎn)品,促進(jìn)光學(xué)技術(shù)產(chǎn)品在中國的應(yīng)用和相關(guān)技術(shù)水平提升。

21世紀(jì)是光學(xué)世紀(jì),激光,光譜,光學(xué)成像等光學(xué)技術(shù)極大地促進(jìn)生物光子學(xué),燃燒和流體力學(xué)光學(xué)診斷,光譜測試分析等學(xué)科發(fā)展和技術(shù)提升,成為前沿科學(xué)和先進(jìn)制造*的分析,計量,測試和實驗工具手段,因此“光學(xué)”成為“精密”的代名詞,是*精密測試分析的有力實驗技術(shù)。


孚光精儀公司就是這樣一個以光學(xué)為特色的進(jìn)口儀器和實驗室設(shè)備公司,擁有齊全的進(jìn)口精密(光學(xué))儀器種類,龐大而可靠的國外生產(chǎn)商群體,和快捷高效的貿(mào)易體系,是用戶信賴的進(jìn)口分析測試技術(shù)儀器和實驗室儀器的旗艦型供服務(wù)商。

公司品牌釋意


孚:信服/conviction

光:光學(xué)/optics

精:精密/

precision
儀:儀器/Instruments

我們信服于光學(xué),致力于光學(xué)精密儀器事業(yè)。


公司價值
孚光精儀-精通光學(xué),服務(wù)科學(xué)

經(jīng)驗豐富的激光和光學(xué)技術(shù)工程師幫助用戶出具方案,確認(rèn)適合應(yīng)用的精密

光學(xué)儀器和科學(xué)儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進(jìn)口體驗。
以豐富的進(jìn)口操作經(jīng)驗和電子商務(wù)管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進(jìn)口和購置服務(wù)!
齊全的光學(xué)種類
涵蓋了所有光學(xué)和激光技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域和相關(guān)儀器

熒光光學(xué)成像儀器 (包括FRET系統(tǒng),TIRFM顯微鏡系統(tǒng), 鈣成像顯微鏡系統(tǒng),熒光壽命成像系統(tǒng),生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等生物光子學(xué)儀器)

分子生物學(xué)

光學(xué)儀器( 包括凝聚成像,生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等)

醫(yī)用

光學(xué)儀器(內(nèi)窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)

光譜分析

測試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)

激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術(shù)的粒度和濃度

測試儀器

光學(xué)成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)

光譜成像系統(tǒng) (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)

燃燒和流體力學(xué)光學(xué)診斷技術(shù)和儀器 (基于激光和成像技術(shù),融合光譜分析技術(shù)組建PIV,PLIF,溫度探測,燃燒分析成像等儀器)

無損光學(xué)檢測儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學(xué)內(nèi)窺等儀器)

AFM, SEM,SPM等特種光學(xué)顯微鏡

通用

實驗室儀器和設(shè)備(包含所有涉及光學(xué)技術(shù)的實驗儀器)

服務(wù)和應(yīng)用領(lǐng)域

生物光子學(xué)

生命科學(xué)

醫(yī)學(xué)成像

制藥

食品工程

化學(xué)和化工

 

實驗室儀器實驗室建設(shè)

流體力學(xué)

工程熱物理

燃燒診斷分析

發(fā)動機(jī)研發(fā)

航空航天

地球物理科學(xué)

地質(zhì)和石油勘探


半導(dǎo)體和微電子

 

 

 

 

 

先進(jìn)制造

新能源

材料科學(xué)

儀器科學(xué)與技術(shù)

-------


客戶群體
     
高等院校

*系統(tǒng)研究院所

中國國有企業(yè)及其研究院所

外資企業(yè)


高效的服務(wù)體系
總部位于上海,在上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)具有倉庫,在香港設(shè)立貿(mào)易公司,擁有遍布全國的代理商,供應(yīng)商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器優(yōu)勢國家和地區(qū)。
公司受益于香港便捷的貿(mào)易條件以及上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)的高效進(jìn)口程序,為客戶提供高效技術(shù)儀器進(jìn)口服務(wù),為制造商提供高效出口服務(wù)。

靈活的購買方式
孚光精儀在天津和上海均有進(jìn)口公司,眾邦企業(yè)(天津)貿(mào)易有限公司和輔光精密儀器(上海)有限公司,具有商檢,報關(guān),進(jìn)出口等高貿(mào)易資質(zhì),為客戶提供優(yōu)質(zhì)而專業(yè)的進(jìn)口服務(wù),幫助出口商/制造商完成清關(guān)服務(wù),并送貨到用戶地址。

 

外方經(jīng)理定期來華辦公指導(dǎo)                                             工作園區(qū)一角\

公司電子*門辦公一角                                                   員工文化墻一角


用戶的青睞和信任
我們高效的服務(wù)和質(zhì)優(yōu)價廉的產(chǎn)品贏得了廣大的青睞和信賴,成為聲譽(yù)*的*產(chǎn)品和服務(wù)供應(yīng)商。國內(nèi)的科研單位多次從我公司訂購各種產(chǎn)品。如:
*上海光機(jī)所

*西安光機(jī)所

*安徽光機(jī)所

*長春光機(jī)所

*合肥物質(zhì)研究院


*物理研究所

*光電研究院


*福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所
中國工程物理研究院
華中光電技術(shù)研究所
中國電子集團(tuán)公司53

清華大學(xué)

北京大學(xué)

中國科技大學(xué)


哈爾濱工業(yè)大學(xué)
山東大學(xué)
武漢大學(xué)
南開大學(xué)

天津大學(xué)


**********

 

 

 

 

飛秒激光微加工系統(tǒng),激光器,激光晶體,原子力顯微鏡

磁控濺射物理氣相沉積是多功能高壓PVD系統(tǒng),用于磁控濺射和多組分薄膜的熱蒸發(fā),用于批量晶圓物理氣相沉積加工.
磁控濺射物理氣相沉積可在加熱至700℃的晶圓上濺射多組分層(金屬、電阻層、ITO層等),設(shè)計用于主動研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)。*化后的高真空不銹鋼反應(yīng)器由固定源單元和升降頂蓋組成。反應(yīng)器的***新人體工程學(xué)設(shè)計配有提升機(jī)構(gòu),便于蒸發(fā)器單元和內(nèi)部篩網(wǎng)的日常維護(hù)。
磁控濺射物理氣相沉積PVD系統(tǒng)
磁控濺射物理氣相沉積特點
•可用于研發(fā)和小型生產(chǎn)的多功能真空沉積系統(tǒng)
•*化的系統(tǒng)人機(jī)工程學(xué),操作和維護(hù)方便
•濺射幾何(自下而上)允許***小化樣品表面上的顆粒密度
•通過QCM、現(xiàn)場電阻測量等實現(xiàn)過程自動控制。
•高壓不銹鋼圓柱電抗器,頂部法蘭提升,集成水冷
•∅200mm靶材或∅150mm靶材具有6個磁控管源的5個端口,任何系統(tǒng)配置中,一個端口可用于離子束源
•旋轉(zhuǎn)木馬式基板支架,可改變樣品尺寸
•同一工藝的濺射晶圓大數(shù)量為5×∅200 mm、6∅150 mm和30片60×48 mm
•雙面沉積時基板支架可能翻轉(zhuǎn)180°的可能性(可選)
•2個靶材直徑達(dá)∅200 mm的磁控管源和百葉窗,2個電源(DC和RF),基本配置中磁控管之間自動重新連接
•沉積前基底清潔用離子束源(能量20÷300 eV)
•3條帶有自動氣體流量控制器的燃?xì)夤芫€,包括防腐性能旁通管線
•工藝氣體:Ar、H2、O2、N2
•能夠安裝現(xiàn)場電阻測量見證樣品
•在特定濺射源下旋轉(zhuǎn)木馬定位的自動基板
磁控濺射物理氣相沉積規(guī)格參數(shù)
工藝過程反應(yīng)器中的極限壓力:   不小于<5×10-7
達(dá)到預(yù)處理真空的時間(<5×10^-6Torr):   不超過25min
磁控管源的***大數(shù)量:5×∅200mm 或 6×∅150mm
離子束粒(離子能20~300eV): 可選配
襯底支架傾斜180度:  可選配
一次性處理晶圓數(shù)量::5×∅200mm 或 6×∅150mm 或30x (60x48)mm
濺射薄膜的非均勻性: +/-2.5%  @200mm
沉積過程中晶圓旋轉(zhuǎn)的速度范圍:    0~20rpm
晶圓加熱溫度: ***高700°С
泵送系統(tǒng)性能:–渦輪分子泵,不小于1300l/s
                       –干式渦旋泵,不小于35m3/h
過程:自動化控制




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