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FPSEM-icp200e-ICPVCD 電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) FPSEM-icp200e-ICPVCD
  • 產(chǎn)地 www.felles.cn/pvd.html
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2024/12/16 11:35:37
  • 訪問次數(shù) 726

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孚光精儀是進(jìn)口精密儀器和實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備供應(yīng)商,是*基于激光和成像等光子技術(shù)分析測試儀器的規(guī)模性進(jìn)口商和代理商,服務(wù)商。
孚光精儀公司以精密光學(xué)技術(shù)為特色,以光學(xué)應(yīng)用為宗旨,以歐洲,北美和日本進(jìn)口精密儀器為主業(yè),為中國客戶提供*分析測試儀器產(chǎn)品,促進(jìn)光學(xué)技術(shù)產(chǎn)品在中國的應(yīng)用和相關(guān)技術(shù)水平提升。

21世紀(jì)是光學(xué)世紀(jì),激光,光譜,光學(xué)成像等光學(xué)技術(shù)極大地促進(jìn)生物光子學(xué),燃燒和流體力學(xué)光學(xué)診斷,光譜測試分析等學(xué)科發(fā)展和技術(shù)提升,成為前沿科學(xué)和先進(jìn)制造*的分析,計(jì)量,測試和實(shí)驗(yàn)工具手段,因此“光學(xué)”成為“精密”的代名詞,是*精密測試分析的有力實(shí)驗(yàn)技術(shù)。


孚光精儀公司就是這樣一個(gè)以光學(xué)為特色的進(jìn)口儀器和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備公司,擁有齊全的進(jìn)口精密(光學(xué))儀器種類,龐大而可靠的國外生產(chǎn)商群體,和快捷高效的貿(mào)易體系,是用戶信賴的進(jìn)口分析測試技術(shù)儀器和實(shí)驗(yàn)室儀器的旗艦型供服務(wù)商。

公司品牌釋意


孚:信服/conviction

光:光學(xué)/optics

精:精密/

precision
儀:儀器/Instruments

我們信服于光學(xué),致力于光學(xué)精密儀器事業(yè)。


公司價(jià)值
孚光精儀-精通光學(xué),服務(wù)科學(xué)

經(jīng)驗(yàn)豐富的激光和光學(xué)技術(shù)工程師幫助用戶出具方案,確認(rèn)適合應(yīng)用的精密

光學(xué)儀器和科學(xué)儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進(jìn)口體驗(yàn)。
以豐富的進(jìn)口操作經(jīng)驗(yàn)和電子商務(wù)管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進(jìn)口和購置服務(wù)!
齊全的光學(xué)種類
涵蓋了所有光學(xué)和激光技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域和相關(guān)儀器

熒光光學(xué)成像儀器 (包括FRET系統(tǒng),TIRFM顯微鏡系統(tǒng), 鈣成像顯微鏡系統(tǒng),熒光壽命成像系統(tǒng),生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等生物光子學(xué)儀器)

分子生物學(xué)

光學(xué)儀器( 包括凝聚成像,生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等)

醫(yī)用

光學(xué)儀器(內(nèi)窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)

光譜分析

測試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)

激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術(shù)的粒度和濃度

測試儀器

光學(xué)成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)

光譜成像系統(tǒng) (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)

燃燒和流體力學(xué)光學(xué)診斷技術(shù)和儀器 (基于激光和成像技術(shù),融合光譜分析技術(shù)組建PIV,PLIF,溫度探測,燃燒分析成像等儀器)

無損光學(xué)檢測儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學(xué)內(nèi)窺等儀器)

AFM, SEM,SPM等特種光學(xué)顯微鏡

通用

實(shí)驗(yàn)室儀器和設(shè)備(包含所有涉及光學(xué)技術(shù)的實(shí)驗(yàn)儀器)

服務(wù)和應(yīng)用領(lǐng)域

生物光子學(xué)

生命科學(xué)

醫(yī)學(xué)成像

制藥

食品工程

化學(xué)和化工

 

實(shí)驗(yàn)室儀器實(shí)驗(yàn)室建設(shè)

流體力學(xué)

工程熱物理

燃燒診斷分析

發(fā)動(dòng)機(jī)研發(fā)

航空航天

地球物理科學(xué)

地質(zhì)和石油勘探


半導(dǎo)體和微電子

 

 

 

 

 

先進(jìn)制造

新能源

材料科學(xué)

儀器科學(xué)與技術(shù)

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客戶群體
     
高等院校

*系統(tǒng)研究院所

中國國有企業(yè)及其研究院所

外資企業(yè)


高效的服務(wù)體系
總部位于上海,在上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)具有倉庫,在香港設(shè)立貿(mào)易公司,擁有遍布全國的代理商,供應(yīng)商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器優(yōu)勢國家和地區(qū)。
公司受益于香港便捷的貿(mào)易條件以及上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)的高效進(jìn)口程序,為客戶提供高效技術(shù)儀器進(jìn)口服務(wù),為制造商提供高效出口服務(wù)。

靈活的購買方式
孚光精儀在天津和上海均有進(jìn)口公司,眾邦企業(yè)(天津)貿(mào)易有限公司和輔光精密儀器(上海)有限公司,具有商檢,報(bào)關(guān),進(jìn)出口等高貿(mào)易資質(zhì),為客戶提供優(yōu)質(zhì)而專業(yè)的進(jìn)口服務(wù),幫助出口商/制造商完成清關(guān)服務(wù),并送貨到用戶地址。

 

外方經(jīng)理定期來華辦公指導(dǎo)                                             工作園區(qū)一角\

公司電子*門辦公一角                                                   員工文化墻一角


用戶的青睞和信任
我們高效的服務(wù)和質(zhì)優(yōu)價(jià)廉的產(chǎn)品贏得了廣大的青睞和信賴,成為聲譽(yù)*的*產(chǎn)品和服務(wù)供應(yīng)商。國內(nèi)的科研單位多次從我公司訂購各種產(chǎn)品。如:
*上海光機(jī)所

*西安光機(jī)所

*安徽光機(jī)所

*長春光機(jī)所

*合肥物質(zhì)研究院


*物理研究所

*光電研究院


*福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所
中國工程物理研究院
華中光電技術(shù)研究所
中國電子集團(tuán)公司53

清華大學(xué)

北京大學(xué)

中國科技大學(xué)


哈爾濱工業(yè)大學(xué)
山東大學(xué)
武漢大學(xué)
南開大學(xué)

天津大學(xué)


**********

 

 

 

 

飛秒激光微加工系統(tǒng),激光器,激光晶體,原子力顯微鏡

電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)是為等離子化學(xué)蝕刻系統(tǒng)應(yīng)用設(shè)計(jì)的反應(yīng)離子蝕刻RIE和ICPCVD系統(tǒng),將反應(yīng)離子刻蝕RIE和電感耦合等離子體刻蝕ICP兩種等離子體化學(xué)刻蝕模式相結(jié)合.
電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)充分利用了半導(dǎo)體、電介質(zhì)和金屬薄膜受控等離子體刻蝕工藝的所有必要特性。它適用于氯和氟化學(xué)。STE ICP200E允許兩種類型的等離子體激發(fā):電容(冷卻基板電極)和電感(平面螺旋ICP電極)。
電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)改進(jìn)的小反應(yīng)器容積和優(yōu)化的供氣系統(tǒng)可以顯著提高工藝的均勻性和再現(xiàn)性,并縮短泵送時(shí)間。更新的反應(yīng)器是最佳的蝕刻配方與快速變化的工藝氣體(博世過程)。由于可以方便地訪問所有內(nèi)部組件,因此系統(tǒng)的日常維護(hù)變得更加容易。特殊的底部電極設(shè)計(jì)為蝕刻工藝提供高效的氦冷卻和晶圓溫度控制。
電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)允許在較寬的工藝參數(shù)窗口內(nèi),將反應(yīng)離子刻蝕RIE和電感耦合等離子體刻蝕ICP兩種等離子體化學(xué)刻蝕模式相結(jié)合。射頻發(fā)生器自動(dòng)匹配,從而確保穩(wěn)定的等離子燃燒模式在廣泛的功率值范圍內(nèi)。系統(tǒng)設(shè)計(jì)為其配置提供了解決單個(gè)客戶任務(wù)的廣泛機(jī)會(huì)。
電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)

工藝過程反應(yīng)器中的極限壓力:<5×10

-6Torr

一次性處理晶圓數(shù)量::7個(gè)@2'', 4個(gè)@3'', 1個(gè)×∅200mm, 1個(gè)@∅150mm 1個(gè)@∅100mm

RIE反應(yīng)器最大功率:600W   @13.56MHz

ICP發(fā)生器最大功率:1200W @13.56MHz

晶圓冷卻溫度范圍:-30℃~80℃

達(dá)到預(yù)處理真空的時(shí)間(<5×10^-6Torr):   不超過25min

磁控管源的最大數(shù)量:5×∅200mm 或 6×∅150mm

離子束粒(離子能20~300eV): 可選配

襯底支架傾斜180度:  可選配

蝕刻不均性:+/-2% (從中心位置到邊緣,∅100mm)

過程:自動(dòng)化把晶圓轉(zhuǎn)移到反應(yīng)器中。

相關(guān)分類

干法清洗設(shè)備


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