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邁可諾技術(shù)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第12年
MC方案｜ 白光反射光譜法（WLRS）測(cè)量薄膜疊層厚度2019/06/03
膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)xFR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-pRo系列
MC方案｜白光反射光譜法（WLRS）測(cè)量厚膜厚度2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)xFR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-uProbe系列
MC方案｜通過(guò)白光反射光譜（WLRS）和FR映射器繪制薄膜厚度2019/06/03
膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)x、FilmThicknessGauges【利用材料的折射率來(lái)計(jì)算的，非接觸式的膜厚測(cè)試儀】FR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-uProbe?系列
MC方案｜酒石酸-蘇氟酸陽(yáng)極氧化的控制-用WLRS表征陽(yáng)極涂層2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)x、FilmThicknessGauges【利用材料的折射率來(lái)計(jì)算的，非接觸式的膜厚測(cè)試儀】FR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-Scanner系列
MC方案｜FR監(jiān)測(cè)儀測(cè)量折射率以及薄膜厚度2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)x、FilmThicknessGauges【利用材料的折射率來(lái)計(jì)算的，非接觸式的膜厚測(cè)試儀】FR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-pRo系列
MC方案｜吸收法測(cè)定溶液中物質(zhì)濃度2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)x、FilmThicknessGauges【利用材料的折射率來(lái)計(jì)算的，非接觸式的膜厚測(cè)試儀】FR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-pRo系列
MC方案｜測(cè)量玻璃蓋卡瓦的厚度2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)xFR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-pRo系列
MC方案｜超薄薄膜的厚度測(cè)量2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)xFR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-pRo系列
MC方案｜采用FR系列在光譜范圍內(nèi)測(cè)定透明涂層的厚度2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)xFR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-uProbe系列
MC方案｜采用FR-Scanner繪制硅晶圓上的薄膜涂層2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)xFR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-Scanner
MC方案｜全血生物反應(yīng)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)xFR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……
MC方案｜單層石墨烯厚度的測(cè)量2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)xFR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-pRo系列
MC方案｜鋁罐內(nèi)聚合物涂層厚度的測(cè)定2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)xFR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……
MC方案｜硅片厚度測(cè)量2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)xFR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……
MC方案｜二甲苯涂層厚度和折射率的測(cè)定2019/06/03
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)xFR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感…
MC方案｜ 白光反射光譜法（WLRS）測(cè)量薄膜和超薄膜厚度2019/05/31
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)x、FilmThicknessGauges【利用材料的折射率來(lái)計(jì)算的，非接觸式的膜厚測(cè)試儀】FR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-pRo系列
MC方案｜利用白光反射光譜（WLRS）膜厚儀硅膜表征2019/05/23
光學(xué)膜厚儀膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)xFR的工具基于白光反射光譜（Reports），準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……FR-pRo系列
MC方案｜利用白光反射光譜（WLRS）評(píng)估生物分子層厚度2019/05/20
目的：開(kāi)發(fā)一種快速、準(zhǔn)確的生物分子層厚度評(píng)估方法測(cè)量的方法：引入WLRS用于測(cè)量各層的厚度，評(píng)價(jià)生物分子固定在固體表面上的有效性及其與相應(yīng)生物分子的后續(xù)反應(yīng)。特別研究了兔（RgG）和小鼠γ-球蛋白（MgG）的吸附及其與互補(bǔ)抗體的反應(yīng)。通過(guò)配備有0.35nm光學(xué)分辨率的VIS-NIR光譜儀和白光鹵素?zé)舻腇R-Basic進(jìn)行測(cè)量。基板是厚度約為1000nm的熱生長(zhǎng)SiO2薄膜的硅晶片。結(jié)果：在圖1中，描述了在RGG–Antigg系統(tǒng)中不同層的光譜，其中顯示了由于不同生物分子層的結(jié)合而引起的光譜移動(dòng)。
MC方案｜快速準(zhǔn)確地繪制硅晶圓上的薄膜涂層2019/04/09
薄膜厚度均勻性和光學(xué)特性（N&K）是集成電路和MEMS制造過(guò)程中的一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)。薄膜沉積控制可以產(chǎn)生高質(zhì)量的圖形，并確保在光刻步驟之后的器件性能。除了在半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)的步中對(duì)薄膜進(jìn)行檢查的必要性外，還需要在后階段進(jìn)行檢查，在這一階段進(jìn)行封裝（在集成電路頂部涂上一層涂層，以保護(hù)其免受物理?yè)p傷和腐蝕）。在這里，我們使用了FR-Scanner來(lái)繪制兩個(gè)商業(yè)光刻電阻的厚度圖，這兩個(gè)光刻電阻沉積在300毫米硅晶片上，用于封裝應(yīng)用。FR-Scanner是一種工具，用于自動(dòng)表征硅和其他尺寸達(dá)450mm的基板上的單
MC方案｜在大面積上表征薄膜厚度均勻性2019/04/09
通過(guò)白光反射光譜（WLRS）和FR映射器繪制薄膜厚度目標(biāo)：在大面積上表征薄膜厚度均勻性。測(cè)量方法：采用Fr-Basic與Fr-Mapper相結(jié)合的方法，在大面積的預(yù)定點(diǎn)上快速、準(zhǔn)確地測(cè)量薄膜厚度。當(dāng)樣品固定在一個(gè)Fr-Mapper上時(shí)，所有的測(cè)量都用一個(gè)Fr-Basic進(jìn)行調(diào)節(jié)，使其在540-1000納米的光譜范圍內(nèi)工作。反射探頭的有效光斑直徑為0.5毫米。樣品是涂有SiO2（熱的或TEOS）和Si3N4（LPCVD）/SiO2（熱的）4英寸硅晶片。在參考測(cè)量中，使用了高反射鍍鋁鏡（NT01-9
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