資料簡介
Sievers Boron Ultra在線超純水硼分析儀是Sievers超純水硼分析儀的最新一代產品——這是市場上僅有的一款能夠連續、無人值守地在線監測超純水(UPW)應用中萬億分之一(ppt)級含量水平硼的儀器。Sievers Boron Ultra超純水硼分析儀是與半導體制造商合作開發的,用于控制超純水中的污染物,如膠體硅。隨著半導體芯片尺寸的不斷縮小,早期檢測污染物變得越來越關鍵。Boron Ultra超純水硼分析儀用于盡可能減少和控制來自離子去除過程的膠體和離子硅的泄漏,如混合床離子交換和電去離子化(EDI),以提高芯片產量。此外,它也用于控制去離子過程,以滿足國際設備和系統發展藍圖(RDS)在半導體超純水中的 50 ppt 的硼的限值。它專為設備經理、超純水系統業主以及超純水工藝控制工程師和技術人員的需求而設計。
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