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NXQ4006光刻機在操作中應該要注意以下幾點：
1、進入機倉檢查或維修必須切斷電源，掛上警示牌并與中控。
2、檢修或檢查時必須使用36V以下照明。
3、必須經常監視機器運轉情況，如聽任何不正常聲音，應立即停機檢查，查明原因并處理完故障后，方可重新起動。
4、正常運轉中，應特別注意電機和轉子的溫度變化，保證充足的油潤滑、水冷卻，超過規定值立即停機檢查。
5、運行時，不準打開觀察孔，以防物料飛出傷人。
6、每周應檢查一次轉子卡箍螺栓的松緊情況。
7、每天開機前應檢查襯板螺絲是否松動并緊固。
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