壓力傳感器介紹
1.通用的干式陶瓷壓阻傳感器
陶瓷傳感器是一種干式傳感器,零點、滿量程用激光標定。干式陶瓷傳感器的化學穩定性遠優于的不銹鋼和其它防腐材料,幾乎可以測量所有介質,并且沒有灌充液和隔膜系統,體積小,安裝方便。量程 0~100KPa到0~60Mpa,介質溫度-20~80℃,是通用性zui強的壓力傳感器。
2. 高過載的干式陶瓷電容壓力傳感器
干式陶瓷電容沒有液體的傳遞,過程壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,襯底的電極與膜片電極的電容量變化比例與壓力大小,使膜片產生0.03mm的位移,電容的變化值經激光微調,傳感器信號調理電路ASIC放大輸出高達4000mV的直流電壓,內置的溫度傳感器不斷測量介質的溫度并進行溫度補償。過載時,膜片貼到陶瓷襯底上而不會損壞。當壓力恢復到正常時,其性能不受任何影響。*解決了低量程過載能力差的缺點。標準化的高輸出具有*的抗*力,可進行大的量程遷移(10:1)。傳感器具有很高的溫度穩定性和時間穩定性,自帶溫度補償-20~80℃,并可以和絕大多數介質直接接觸。
3.高精度的硅
316不銹鋼膜片感知過程壓力,通過硅油傳輸到硅膜片的一側;同時參考壓力(大氣壓,密封壓、絕壓)作用于膜片的另一側,壓力差產生一個應力場,它使硅膜片一側壓縮,另一側拉伸。分別處于壓縮區的二個應變電阻和拉伸區兩個應變電阻感受壓力變化引
起阻值變化。這四個電阻組成惠斯登電橋,在恒流源供電情況下,將壓力信號轉化為電信號。此信號經差分歸一化放大器、功率放大器、電壓電流轉換,變成為與壓力成線性對應關系的4~20mA標準輸出信號,量程-7KPa~0到35Mpa,精度zui高可達0.1%,介質溫度-20~80℃,加散熱片介質溫度可達-40~250℃。
4. 耐高溫的硅藍寶石
藍寶石系由單晶體絕緣體元素組成,不會發生滯后、疲勞和蠕變現象,鈦合金膜片可以抗強腐蝕性。藍寶石有著非常好的彈性和絕緣特性,對溫度變化不敏感,可在-100℃~600℃的高溫條件下,也有著很好的工作特性。量程:0~40KPa到0~160Mpa,過載為10倍量程。另外,硅藍寶石半導體敏感元件,無p-n漂移,超高穩定性,漂移小于0.1%F.S/年且精度高。
5. 高穩定的濺射薄膜
測量膜片為不銹鋼類型的彈性膜片材料(17-4PH)耐腐蝕,再注入新的離子束濺射等*工藝手段和微機械加工方法,制成敏感壓力的橋路電阻。無隔離膜片,不用灌油充液,體積小質量輕。沒有PN結帶來的高、低溫誤差大和工作溫區小的問題。工作條件下精度為±0.25%,高穩定性,測量壓力范圍寬(0.7MPa~220MPa)。體積小(敏感膜片直徑僅為Φ7mm),金屬一體化結構,結實可靠。介質溫度:-40~80℃,溫度漂移小,不受原始貼片方法帶來的蠕變、老化缺陷的影響,測量壓力穩定性好。
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