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表面體積電阻率測試儀對樣品有什么要求?

來源:北京北廣精儀儀器設備有限公司   2025年04月28日 08:59  

表面體積電阻率測試儀對樣品的主要要求如下:

一、表面體積電阻率測試儀幾何尺寸規范

?標準試樣尺寸?

圓形平板:直徑φ100mm或φ50mm

方形平板:100×100mm2或50×50mm2

管狀試樣:長度100mm或50mm

基材厚度≥0.50mm時優先采用100×100mm2規格

?厚度要求?

常規固體材料:2-4mm(ASTM D257標準)

薄膜材料:需使用非接觸式厚度儀測量5個點取平均值,誤差≤±0.02mm

二、表面體積電阻率測試儀表面處理要求

?清潔規范?

使用異丙醇與去離子水(3:1)混合液擦拭表面

特殊污染物需用400目氧化鋁拋光膏處理,處理后接觸電阻<0.1Ω

?干燥條件?

105℃烘箱干燥2小時以消除靜電

平衡處理:在23±2℃、50±5%RH環境下靜置24小時

三、表面體積電阻率測試儀特殊材料要求

?復合材料?

需分層測試并記錄層間接觸電阻

半導體材料需采用四點探針法消除邊緣效應

?納米涂層/薄膜?

實施多點采樣法,每個樣品至少選取5個測試點

安裝時需使用真空吸附裝置避免氣泡干擾

四、表面體積電阻率測試儀電極制備標準

?導電層處理?

覆銅箔面采用蝕刻法制備標準電極圖形

未覆銅面需涂覆導電銀漆,涂層厚度≤50μm

?特殊形狀樣品?

管狀樣品需保證電極覆蓋周長≥90%

不規則試樣需通過機械加工獲得平行測試面

五、表面體積電阻率測試儀數量與質量控制

常規測試需≥3個有效樣品

高精度測量時每組數據需連續記錄3組穩定值,偏差>10%需復測

注:以上要求綜合GB/T 1410、IEC 60093及ASTM D257等標準制定,實際測試應根據具體材料特性調整參數。

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