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TXRF 3760 系列日本理學RIGAKUT 全內反射 X 射線熒光光譜儀

來源:北崎國際貿易(北京)有限公司   2025年04月23日 10:18  

TXRF 3760 系列

全內反射 X 射線熒光光譜儀

對晶圓表面的污染進行無損、非接觸式和高靈敏度分析

轉子式高功率 X 射線發生器和新設計的入射 X 射線單色器

過渡金屬 LLD 10 采用直接 TXRF 測量方法8 原子/厘米2達到水平。 在封閉 X 射線管測量時間的 1/3 內即可實現相同的精度,從而實現高通量。


TXRF 3760 表面污染計量系統


TXRF 3760 規格

產品名稱TXRF 3760 系列
技術全內反射 X 射線熒光 (TXRF)
從 Na 到 You 的元素分析以測量晶圓污染
科技帶無液氮檢測器的 3 光束 TXRF 系統
主要組件適用于最大 200 mm 晶圓的 XYθ 樣品臺系統、真空晶圓中的機器人傳輸系統、ECS/GEM 通信軟件
選擇Sweep TXRF 軟件(能夠映射晶圓表面的污染物分布以識別“熱點”)。 ZEE-TXRF 功能可實現零邊沿排除測量)
控制 (PC)內部 PC、MS Windows®作系統
本體尺寸1000 (寬) x 1760 (高) x 948 (深) 毫米
質量100 kg(主機)
權力三相 200 VAC 50/60 Hz,100 A



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