搭載液體質流傳感器并內置壓電控制閥的高性能數字通訊液體質流控制器。

該產品標配液體用流量傳感器與高性能壓電控制閥。通過使用液體質流傳感器測量當前流量，并反饋控制壓電閥的開度，從而實現高速的且自動地控制液體質量流量。

通過使用液體質量流量傳感器測量電流質量流量并反饋控制壓電閥的打開，可以高速自動控制液體質量流量。

　　　　LC-3000L

特點

  • 微小流量液體控制

  • 精度范圍±1%F.S.

  • 無塵生產（粒子標準監控）

  • RS-485數字通訊接口

使用范例

無脈動的微小流量連續控制

計量泵是一種方便的產品，可以流動一定量的液體，但它具有引起脈沖的運動部件。采用LINTEC的液體質量流量控制器，若以適當且恒定的壓力加壓，則可實現無脈沖且穩定的流量控制。

輸出端為真空設備下的液體控制

如果輸出端處于真空條件下，用容積式控制器測量液體會逸出，從而難以控制流速。LINTEC的液體質流控制器（LC-3000系列）集成了控制閥和質流傳感器，不受輸出端壓力影響，可在適當的壓差條件下控制流量。

規格表

型號溫度所需壓差精度最小F.S.最大F.S.
LM-3102L15~35℃50~300kPa±1.0%F.S.0.1g/min1.0g/min
LM-3202L20~30℃50~300kPa±1.0%F.S.
~2.0g/min
LM-3702L15~35℃50~300kPa±2.0%F.S.
~30g/min

※此表僅表示一般規格的液體用MFC。
※F.S.根據液體種類不同而變化。詳細請咨詢LINTEC。