砷化氫（AsH?）0-1ppm（高毒）
確定量程范圍
（1）爆炸性氣體（LEL檢測）

適用氣體：可燃氣體（如硅烷、氫氣等）。

量程設置：

0-100% LEL（常規安全監測）。

0-10% LEL（高靈敏度預警）。

超過100% LEL（需稀釋或使用NDIR/熱導檢測）。

（2）劇毒氣體（ppm/ppb級檢測）

適用氣體：高毒性氣體（如砷化氫、光氣、氟氣等）。

量程設置：
砷化氫（AsH?）的TWA=0.05 ppm，量程設為0-1 ppm。

職業健康標準（OEL）：如TWA（8小時均值）、STEL（短時暴露限值）。

惰性/特殊氣體（體積濃度或高純度檢測）
適用氣體：六氟化硫（SF?）、氦氣（He）、氬氣（Ar）等。

量程設置：泄漏檢測：0-1000 ppm（如SF?檢漏）


校準與驗證

• 標準氣體：必須使用已知濃度的特氣標準氣校準（如5 ppm PH?平衡氮氣）。

• 零點校準：在純凈空氣或高純氮氣環境下進行。

特殊案例

（1）硅烷（SiH?）

• 爆炸風險：LEL=1.5%，自燃溫度<54℃。

• 量程建議：

• 安全監測：0-2% vol。

• 微量泄漏：0-50 ppm（電化學或NDIR）。

（2）磷化氫（PH?）

• 劇毒：TWA=0.3 ppm，IDLH=50 ppm。

• 量程建議：

• 常規監測：0-10 ppm（電化學）。

• 高濃度預警：0-100 ppm（PID或NDIR）。

（3）六氟化硫（SF?）

• 溫室氣體：需檢測微量泄漏。

• 量程建議：

• 檢漏模式：0-100 ppm（NDIR）。
  總結：需具體情況具體分析，結合各氣體的氣體性質，尋求合適的傳感器來設
  計量程范圍