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氣氛型高溫探針臺(tái)JZM-100H的技術(shù)參數(shù)

來(lái)源:北京錦正茂科技有限公司   2025年03月03日 10:54  

功能描述

快速實(shí)現(xiàn)室溫-350℃環(huán)境的控溫,可在真空環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行光學(xué),電學(xué)測(cè)試,測(cè)試中也可實(shí)現(xiàn)惰性氣體的快速充放。根據(jù)樣品材料,形狀不同可選擇探針,插拔等多種安裝測(cè)試方式。

技術(shù)參數(shù):

1· 溫度范圍:室溫-350℃;

2· 控溫精度:0.5-1K,和樣品臺(tái)的水冷回路水溫穩(wěn)定性相關(guān),盡量做到zui低。

3· 樣品臺(tái)尺寸:51mm

4· 標(biāo)準(zhǔn)K型熱電偶

5· 真空度:10E-3Pa

6· 提供真空抽口*1、氣體入口*1、真空釋放口*1

7· 匹配觀察窗:1

8· 匹配探針臂:2;探針臂移動(dòng)精度:10μm;針尖:1μm;探針移動(dòng)范圍:±12.5mm

9· 另留2個(gè)探針臂接口備用;

10.樣品臺(tái)水冷回路;

11.探針臂接口:真空型3同軸接口,所有電學(xué)線路采用屏蔽設(shè)計(jì),測(cè)試精度:pA

12· 樣品:51mm  最小1mm  最小電極100um

13· 4升真空,1臺(tái) ,顯微鏡1臺(tái)

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