工藝氣體中含有的 CO、CO2、HF、NH3、HCI、H2 O 等分子具有吸收近紅外激光的特性，分子的濃度可以通過它們的吸收強度來確定。 由于該吸收帶（波長）根據分子的類型而變化，因此可以通過選擇要測量的分子的吸收波長來測量氣體濃度，而不會受到其他分子的干擾。 由中央單元內置的二極管激光器產生的近紅外波長激光通過稱為混合電纜的光纜從發射器傳感器照射到工藝氣體中，并被光電探測器的光電晶體管的光電晶體管檢測為電信號。 然后，檢測到的電信號被轉換回光信號，并通過環路和混合電纜返回到中央單元。 通過將照射的激光強度與接收的激光強度進行比較，可以測量待測氣體成分的濃度。 中央單元包含一個包含待測組件的參考單元，該單元不斷進行自我校準。
此外，還監測半導體激光器的發光強度，持續監測半導體激光器的異常并進行零點校準。 因此，LDS6 不需要使用標準氣體進行校準。