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掃描電鏡（ScanningElectronMicroscope，SEM）是一種高分辨率的電子顯微鏡，廣泛應用于材料科學、生物學、地質學等多個領域。其工作原理基于電子與物質間的相互作用，通過發射電子束并使其在樣品表面掃描，從而激發樣品產生各種物理信號，這些信號再被收集、放大并轉換成圖像。
在工作時，掃描電鏡的電子槍發射出電子束，這些電子在加速電壓的作用下，經過電磁透鏡聚焦成細小的束斑。隨后，電子束在掃描線圈的作用下，按一定規律在樣品表面進行掃描。當電子束照射到樣品表面時，會與樣品中的原子發生相互作用，激發出二次電子、背散射電子等信號。這些信號被相應的探測器接收，并經過放大處理后，最終轉換成圖像顯示在屏幕上。
結構組成方面，掃描電鏡主要由電子光學系統、掃描系統、信號收集系統、圖像顯示和記錄系統、真空系統以及電源系統六大部分組成。其中，電子光學系統負責產生和聚焦電子束；掃描系統控制電子束在樣品表面的掃描；信號收集系統接收并放大樣品激發出的信號；圖像顯示和記錄系統將放大后的信號轉換成圖像并記錄下來；真空系統確保鏡筒和樣品室中的高真空環境，以避免電子束與氣體分子發生碰撞；電源系統為整個儀器提供所需的電力。
綜上所述，掃描電鏡憑借其的工作原理和精細的結構組成，在微觀世界的探索中發揮著不可替代的作用。
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