氣相色譜儀在電子特氣純度分析中發揮重要作用,分析%含量到 ppm 級別雜質可選擇 TCD 檢測器、FID檢測器加甲烷轉化爐的方案進行分析,而對于ppb 到 ppm 級別的痕量物質分析普瑞GC-9280氣相色譜儀配有專用的 PDHID檢測器實現痕量、常量雜質的全面檢測。
儀器配置:
兩閥三柱 PDHID檢測器
樣品信息:
Ar/O2,N2,CH4,CO
檢測下限:
Ar/O2,檢測下限 5ppm,其余 0.1ppm
對應的標準方法:
GB/T3634.2-2011;GB/T 16942-2009
控制方式:
空氣驅動閥&電動驅動閥
典型譜圖
特征和優勢
u 速度快,10min 內完成高純氣體分析
u 中心切割技術,放空大量高純 H2氣體,檢測微量氣體雜質
u 反吹技術,放空 CO2,H20,避免色譜柱被破壞
u 壓力控制器(APC)確保樣品重現性 良好
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