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MFC330 傳感器基于毛細管柱熱式傳感器，毛細管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內部質量流量，氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組，二者都在傳感器管的外部。
氣流進入MFC后，分成兩個內部流路：
第一條路徑：流經加熱的毛細管傳感器管，該管的直徑較小且長度較長。
第二條平行路徑：通過分流旁路。
兩條路徑的流量比例取決于分流柱的設定，出廠前完成該設定。
設定完成后，通過毛細管柱傳感器管和分流旁路的流量之比是恒定的。
毛細管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內部質量流量，氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組，二者都在傳感器管的外部。
需要預熱： 5min 內達到 95% 流量精度，最長預熱30min
基于熱傳導，MFC響應速度≤ 1s 優點：由于其非接觸式的結構，抗腐蝕，液體不損壞，過流不損壞。
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