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X射線熒光光譜儀的基本原理是：X射線光管發出的初級X射線激發樣品中的原子，產生特征X射線，通過分析樣品中不同元素產生的特征熒光X射線波長(或能量)和強度，可以獲得樣品中的元素組成與含量信息，達到定性定量分析的目的。
根據其結構和測量原理的不同，X射線熒光光譜儀可以進一步分為波長色散型(WDXRF)和能量色散型(EDXRF)兩種。
波長色散型(WDXRF)：通過測量特征X射線的波長來確定元素的種類和含量。這種方法具有較高的分辨率和精度，適用于需要高精度分析的應用場景。
能量色散型(EDXRF)：通過測量特征X射線的能量來確定元素的種類和含量。這種方法具有較快的分析速度和較低的成本，適用于需要快速分析的應用場景。
操作與維護：
樣品準備：確保待測樣品干燥、無油污，避免雜質干擾測量結果。對于不規則樣品，可使用壓片機壓制成規定形狀的樣品片。
開機與預熱：按照儀器說明書正確開機，并進行預熱，使儀器達到穩定狀態。預熱時間取決于儀器型號和環境溫度。
儀器設置：根據待測樣品的性質和分析需求，設置合適的測量模式、管電壓、管電流等參數。
測量與記錄：將樣品放置在測量區域，啟動測量程序。測量過程中，注意觀察儀器顯示的實時數據和光譜圖，確保測量結果的準確性。測量完成后，及時記錄測量數據和結果。
關機與清潔：測量結束后，按照儀器說明書正確關機。使用干凈柔軟的布擦拭樣品室、探測器等部件，避免殘留物影響下次測量。
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