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電感耦合等離子體(ICP)是由高頻電流經感應線圈產生高頻電磁場，使工作氣體(通常為氬氣)形成等離子體，并呈現火焰狀放電。該等離子體具有良好的蒸發、原子化、激發和電離性能，是一個理想的光譜光源。在測量過程中，樣品由載氣引入霧化室霧化后，以氣溶膠形式進入等離子體的中心通道，在高溫惰性氣氛中被充分蒸發、原子化、電離和激發，使所含元素發射各自的特征譜線。根據各元素特征譜線的存在與否，可以定性分析樣品中元素的存在；由特征譜線的強度，可以定量分析相應元素的含量。
電感耦合等離子體發射光譜儀主要由高頻振蕩器、耦合系統、等離子體發生管、超霧化裝置、檢測器等部分組成。其中，高頻振蕩器產生的高頻電流經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端的銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氬氣流經通道，用于穩定等離子體炬及冷卻石英管壁。
電感耦合等離子體發射光譜儀在多個領域具有廣泛的應用，包括但不限于以下幾個方面：
水質監測：用于檢測水樣中的多種金屬元素和非金屬元素(如重金屬、營養元素等)，以評估水體的污染情況和水質。
空氣和土壤分析：分析空氣中的微量金屬和土壤中的各種元素，監測環境污染源及其對生態系統的影響。
食品安全：檢測食品中的重金屬(如鉛、鎘、汞等)和其他有害元素，確保食品符合安全標準。
藥物分析：檢測藥品中的微量元素和雜質，確保藥品的質量和純度。同時分析藥品原料中的元素含量，以保證藥品生產的穩定性和一致性。
合金和金屬材料分析：測定合金和金屬材料中的元素組成，以控制合金配方和材料的質量。
半導體材料分析：分析半導體材料中的微量元素，確保材料的純度和性能。
礦石分析：檢測礦石樣品中的金屬和非金屬元素，評估礦藏的經濟價值。
地質樣品分析：分析地質樣品中的元素組成，幫助地質勘探和研究。
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