氦質譜檢漏方法簡介及方法選擇

很多設備在制造的過程中或者在使用中，需要進行檢漏；很多產品在生產中或者完成后，也會需要檢漏；根據對泄漏多少的要求不同，有很多不同的檢漏方法可供選擇。用肥皂水的冒泡法、保壓法、超聲波檢漏、紅外檢漏、空氣檢漏、六氟化硫檢漏、氫氣檢漏、氦質譜檢漏等等。如果要求檢漏過程清潔，不污染環境、工件、產品；可以對復雜工件進行檢漏；適合批量產品或超大工件檢漏；檢漏精度高……那一定是氦質譜檢漏儀提供的氦質譜檢漏方法。

氦質譜檢漏儀的檢漏方法，主要包括負壓法（真空法、噴氦法）、正壓法（吸氣法、吸槍法）、背壓法（壓氦法），以及根據實際待檢產品的不同，衍生出很多氦檢漏方法。

負壓法（真空法、噴氦法）檢漏：

負壓法是常用的氦檢漏方法之一。工件的內部抽真空，在工件的外部，對工件表面噴氦氣，由于內外壓差，如何工件有漏，氦氣會被吸入工件內部，通過真空泵抽氣，氦氣會被氦質譜檢漏儀捕捉到，根據捕獲氦氣數量的多少，表示不同的漏率。負壓法以及衍生出的氦檢漏方法，適用于汽車零部件、鍍膜行業、真空爐、真空閥門、真空配件、壓力容器、真空腔體、真空系統、真空管路等檢漏。

正壓法（吸氣法、吸槍法）檢漏：

正壓法是在工件內部充入氦氣或者按一定比例充入氦氣，使用氦質譜檢漏儀專用吸槍（或吸氣線），在工件表面逐點進行檢測，查出漏點。正壓法檢漏時，要求工件內部氦氣或氦氣混合氣的壓力大于1bar（即工件內部壓力大于外部環境的壓力）。正常周圍大氣環境中，含有約5ppm的氦氣，正壓法的精度相對負壓法較低，并且容易受到泄漏到環境中的氦氣影響。正壓法及衍生的氦檢漏方法，適用于高壓管路、高壓設備、換熱器、制冷設備、汽輪機、特種閥門、特種設備等。

背壓法（壓氦法）檢漏：

背壓法檢漏，是將工件放入壓氦罐中，在固定壓力下，保持數小時或數天，將工件取出后，立刻將工件放入真空箱內，用氦質譜檢漏儀進行檢漏。背壓法通常適用于芯片、電子元器件等小樣品。

在實際檢漏中，負壓法、正壓法、背壓法及衍生的氦檢漏方法，被廣泛使用。甚至，有時一個工件，會用到兩種或兩種以上的氦檢漏方法。選擇適合的檢漏方法，需要考慮的因素比較多，例如工藝流程、工件的體積大小、工件本身的材質、工件的承壓、容許的漏率、工況條件、環境因素、檢測條件、時間因素、安全性、經濟性等眾多因素。只有綜合考慮各種因素后，才能選擇出適合的檢漏方法。例如：高壓的換熱器。在換熱器生產中，通常會選擇負壓法檢漏，抽真空的設備可以反復使用，氦氣用量比較少，甚至可以增加氦氣回收裝置。因為換熱器的使用，是在正壓的條件下使用；在出廠前，會用正壓法檢漏，接近或模擬實際工況檢漏，更接近于實際使用環境。換熱器在使用中，維修時的檢漏，通常會選擇正壓法檢漏；換熱器使用場所不具備抽真空的設備，或者換熱器使用中，有污染殘留，不適合抽真空；此種條件下，對換熱器充入氦氣或混合氦氣，用正壓法檢漏，更適合。

檢漏方法的選擇，一定要根據實際的工況而定。如果工件是在真空條件下工作，一定要選擇負壓法檢漏。如果工件是在正壓下工作，一定要選擇正壓法檢漏。例如，帶壓力工作的管路，很多時候，考慮經濟性，會采用負壓法進行檢漏。但是，在負壓法檢漏下，管路在正壓條件下工作時，就一定會不漏么？答案是不一定的?？赡苁墙^大部分是不漏的，但是也有漏網之魚。

檢漏方法很多，但是，一定要根據實際工況，選擇檢漏方法！與工況相符的檢漏才是正確的檢漏方法。