首先是測量前的準備。要確保測量儀處于穩定的工作環境，溫度、濕度要符合要求，避免環境因素影響。

測量精度。選擇合適的測頭和測針，根據零件的形狀、尺寸和精度要求來確定，比如測量復雜曲面可能需要特殊形狀的測針。對測量儀進行校準，包括檢查坐標系統是否準確，用標準球等工具校準測量精度。

然后是零件的安裝與定位。將被測量的零件穩固地放置在測量工作臺上，可以使用夾具輔助定位，確保零件在測量過程中不會發生位移。確定零件在測量儀坐標系中的位置，這是準確測量的基礎，一般可以通過找正零件的基準面或者基準孔來實現。

接著是測量程序的編制。根據零件的圖紙和尺寸要求，在測量軟件中編制測量路徑和測量點。對于簡單的幾何形狀，如平面、圓柱，可以直接定義測量元素和相應的測量點數；對于復雜的形狀，可能需要更多的測量點來精確描述輪廓，比如復雜的自由曲面，就需要密集的測量點來反映其形狀精度。

在測量過程中，要控制測量速度，速度太快可能導致測量數據不準確。讓測頭按照編制好的程序對零件進行逐點測量，系統會自動記錄每個測量點的坐標數據。

最后是數據分析。測量完成后，軟件會根據測量點的數據計算出零件各個幾何元素的尺寸、形狀和位置偏差。通過與設計圖紙的要求對比，就可以判斷零件是否合格。例如，測量一個軸的直徑，軟件會給出實測直徑值，以及它與設計直徑的偏差值，偏差在公差范圍內即為合格。