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石墨舟氮氣柜:半導體制造中的關鍵保護設備

來源:合肥沐渥科技有限公司   2024年11月05日 09:34  

石墨舟是由高純度石墨材料制成的,主要用于承載硅片或其他基板材料通過高溫處理過程,是制造半導體器件和太陽能電池片的關鍵設備之一。

石墨舟在空氣中容易與氧氣發生反應,尤其是在高溫處理后,表面可能更為敏感;石墨舟具有一定的吸附性,潮濕環境中石墨舟會吸收水分,影響其性能,因此需要存放在干燥的環境中。石墨舟的存放環境應保持潔凈,避免灰塵或污染物的積累,也要避免暴露在陽光下,因為紫外線可能會對石墨材料造成損害。

石墨舟的存放條件對其性能和使用壽命至關重要。石墨舟氮氣柜主要應用于半導體、太陽能光伏、LED、電子、化工等行業,特別是在需要保護材料或產品免受潮濕、氧化和污染的環境中。石墨舟氮氣柜能夠防止石墨舟表面氧化,同時維持特定物理或化學性質的石墨舟的材料特性不被外界環境破壞,從而保證其在生產過程中的性能和產品質量。

石墨舟氮氣柜5.jpg

石墨舟氮氣柜的主要特點和功能包括:

1)防氧化保護:氮氣柜通過充入氮氣來降低柜內氧氣濃度,防止石墨舟表面氧化,保持其導電性和熱穩定性。

2)防潮防濕:氮氣柜可以創造一個干燥的環境,避免濕氣對石墨舟的影響,從而保護其不被潮濕環境影響。

3)精確控制氣體環境:氮氣柜配備精確的氮氣流量控制和監測系統,可以調節和監控柜內的氮氣濃度、濕度、氧氣含量等參數,確保存儲條件符合要求。

4)高質量密封材料:石墨舟氮氣柜采用高質量的密封材料,提高柜門、接口等部位的密封性,減少氮氣泄漏。

5)耐腐蝕、耐高溫材料制造:通常采用不銹鋼材質,因為不銹鋼具有良好的耐腐蝕性能、強度高、易于清潔和維護,保證柜體在長期氮氣環境下穩定工作。

6)智能化操作:氮氣柜配備了智能化的控制系統,用戶可以通過觸摸屏或者電子鍵盤進行操作,提供了包括氮氣濃度調節、溫濕度監測、報警提示等功能。

7)安全保護:氮氣柜具備安全保護功能,有效地防止事故的發生和物料的泄漏。

石墨舟氮氣柜7.jpg

由于石墨舟易碎,所以在使用石墨舟氮氣柜時,應輕拿輕放,避免摔落和碰撞。石墨舟在存放進氮氣柜之前,要先清潔再烘干,將表面的氧化層和污垢去除。石墨舟氮氣柜的有效運行,為實驗室和生產環境提供必要的物料保護。

石墨舟氮氣柜的設計和制造遵循嚴格的標準,以確保其在高科技制造業中的耐用性、清潔度及安全性。這些特點使得石墨舟氮氣柜成為半導體制造中重要的設備,有助于提高生產效率和產品質量。

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