氧化鋁氮化鋁靜電陶瓷吸盤平整面度是該產品在生產加工和出貨檢驗中，非常重要的一項指標。因為這項參數是好壞，直接影響晶圓在蝕刻過程中產品不良率。在半導體加工中，對硅片的散熱工作相當重要，如果無法保證硅片表面的均溫，則在硅片的加工過程中將無法確保加工的均勻性，加工精度也會受到影響。獲得大范圍的溫度域和充分的吸附力，靜電吸盤可通過自由度高的加熱器設計可以實現良好穩定性；氮化鋁通過一體共燒成型，不會出現因電極的劣化造成歷時變化，最大限度的保障產品質量；

方案選擇：激光影像測量儀（通過激光測量，可以得到平面內高點和低點的高度差）

氧化鋁氮化鋁陶瓷吸盤平整面度測量操作步驟：

1. 選擇點集功能，選擇激光采點；找到要求平面度的面，對焦清晰，在激光采點界面選擇圖像，之后根據需要在平面上采兩個點，在激光采點界面會同步顯示采取的兩點，選中兩點鼠標右鍵選擇組合路徑；

   

2. .選擇組合路徑之后，兩點會連成直線，將測量方式設定為掃描，點數設置為-1；

   
   

3. 設置好之后選中直線，鼠標右鍵選擇平移，根據產品大小選擇平移的距離、數量、方向。點擊完成

   
   

4. 等待采點完成之后，元素列表區會出現一個點集，左鍵雙擊點集，圖像區會顯示剛才采取到的點，通過框選選取這些點，然后構造平面；

5. 構造平面完成之后，元素列表即會得到一個平面，選擇平面，數據列表區即可得到平面度，測量值即為實際值

以上操作需要注意：在氧化鋁氮化鋁靜電陶瓷吸盤的平面上選擇起點與終點，在兩點連成的線段內通過激光掃描取點，可以通過平移復制的方法將這個路徑覆蓋平面大部分位置，這樣能夠在平面內取到足夠多的點形成點集，減小平面度計算誤差。

武漢易測儀器激光影像測量儀：設備優勢

三軸搖桿控制，自動對焦，編輯程序后一鍵測量，完成后自動輸出測量報告。NG位置用紅色顯示。支持數據上傳MES，自動化檢測站。可以選配探針完成簡易三維測量，選配激光完成高度，透明物體厚度，以及曲面輪廓測量。