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臺式電鏡SEM的維護保養方法主要包括冷卻循環水系統、空氣壓縮機、機械泵、烘烤和機械對中等關鍵部件的維護。這些保養措施確保了SEM的性能和壽命，并防止了環境因素對其造成的不良影響。
-檢查與記錄：每月至少檢查一次冷卻循環水的水位，并及時補充。同時，每半年更換一次過濾網，并清洗冷卻水。
-緊急處理：在發現泄漏或水位下降過快時，應立即停止使用SEM，并聯系專業技術人員進行維修。
-排水與清潔：每半個月至少進行一次內部排水，以確保空氣壓縮機的正常運行。
-油霧收集器：當油霧收集器附著油液或有油煙時，需要立即停機更換油泵，并更換油。
-油霧收集器：機械泵的油霧收集器需每半年更換一次，當油變為茶色時，應立即更換機油。
-定期檢查與維護：定期檢查機械泵的運行狀態，確保其無異常噪音或振動。
臺式電鏡SEM的工作原理：
電磁透鏡用于聚焦電子束。通過特定設計的電極之間形成等勢面曲線，可以對電子束進行精確聚焦，使其達到納米級別的束斑直徑。
掃描系統控制電子束在樣品表面的逐行掃描，確保每個像素點都被覆蓋。為了消除像散現象(即電子束在透鏡磁場中偏離設計軌跡)，需要使用消像散器。消像散器通過調整磁場，使不同路徑上的電子束重新會聚到一點，從而提高圖像質量。
探測器收集電子與樣品相互作用后產生的信號。常見的探測器包括閃爍體加光電倍增管、半導體探測器等。信號經放大器放大后輸入顯示器，形成圖像。
-清潔與保養：定期清潔樣品臺以及探針，確保SEM獲得清晰、準確的圖像。
-檢查與更換：檢查樣品臺表面是否有殘留物或污垢積聚，如有需要及時清理。同時，定期檢查探針的工作狀態，如有損壞或老化應及時更換。
-溫度與濕度：實驗室環境溫度應長期維持在20~24°C之間，濕度保持在50%以下。這有助于防止設備受潮、腐蝕或其他不良影響。
-室內清潔：保持室內清潔衛生，嚴禁在室內喝水、飲食，以避免污染和損害設備。
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