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Heidolph旋轉蒸發儀如何賦能半導體行業發展?

來源:海道爾夫儀器設備(上海)有限公司   2024年10月09日 09:20  


半導體行業是一個高度技術密集型的產業,其產品廣泛應用于各個高科技領域,不僅限于計算機、通信設備、照明、電子產品、工業控制、軍事系統,在儀器以及醫療設備領域更是發揮著重要的作用,特別是在需要高精度、快速響應和穩定性方面。


Heidolph旋轉蒸發儀如何賦能半導體行業發展?

Professor  Hei

Heidolph旋轉蒸發儀如何賦能半導體行業發展?

在半導體行業中,旋轉蒸發儀在以下幾個方面發揮著重要作用:

01

溶劑回收

在半導體制造過程中,經常使用各種溶劑進行清洗、蝕刻等步驟。這些溶劑可以通過旋轉蒸發儀回收再利用,減少成本并降低環境污染。


02

前驅體溶液制備

制備用于化學氣相沉積(CVD)、原子層沉積(ALD)等工藝中的前驅體溶液時,需要精確控制溶劑的比例。旋轉蒸發儀可以用來濃縮或調整溶液的濃度。


03

表面處理

對半導體材料進行表面處理時,可能會用到含有特定溶劑的溶液。旋轉蒸發儀可以幫助去除這些溶劑,留下純凈的處理層。


04

研發實驗

通過對半導體材料、工藝和使用技術的探索和改進,對人類生活、醫療生活、工業方面都有著深遠的影響。在研發新的半導體材料或工藝時,旋轉蒸發儀可以作為一種通用的溶劑處理設備,幫助研究人員進行樣品制備、純化等工作。

Heidolph旋轉蒸發儀如何賦能半導體行業發展?

半導體行業的制造以及處理工藝對清潔度要求高,使用旋轉蒸發儀時必須確保設備本身的潔凈度,避免引入任何雜質影響最終產品的性能。因此需要定期進行儀器的清潔與維護,使用前需要清潔所有玻璃件和金屬部件,使用適合的溶劑(如丙酮、異丙醇)去除油脂和殘留物,清潔后,使用高純度的溶劑沖洗,必要時進行干燥處理。


使用高品質溶劑,確保所用溶劑的純度符合半導體級要求,避免因溶劑自身含有的雜質而污染樣品;另外,需要在潔凈室或超凈工作臺中使用旋轉蒸發儀,以減少空氣中顆粒物和微生物的污染,控制操作區域的溫度和濕度,避免冷凝水的形成,減少微生物生長的可能性。此外,對于一些特殊溶劑或者敏感材料的操作,還需要特別注意操作條件的選擇,比如溫度、壓力等參數的設置。

Heidolph旋轉蒸發儀如何賦能半導體行業發展?

因此盡可能使用滿足半導體行業要求的旋轉蒸發儀,更高的清潔度、更強的密封性和更好的耐腐蝕性可以保證最終產品的性能及可靠性。


Heidolph旋轉蒸發儀所配置的密封圈由高抗腐蝕性PTFE-FKM所制成,結合了聚四氟乙烯(PTFE)和氟橡膠(FKM)的優點,能夠確保設備在苛刻的實驗室條件下保持良好的性能和持久的密封能力,提供了可靠的密封解決方案。

Heidolph旋轉蒸發儀如何賦能半導體行業發展?

Heidolph PTFE-FKM密封圈的主要優勢:

耐化學性和耐老化性

PTFE的耐化學性強,可以抵抗多種化學品的侵蝕。FKM同樣具有良好的耐化學性,尤其對于油類、燃料和某些溶劑具有很好的抵抗力。同時,FKM具有較高的機械強度和耐磨性,能夠承受一定的壓力和磨損,在長時間投入使用后仍能保持良好的性能。

耐溫范圍廣

PTFE具有廣泛的耐溫范圍,可以在低溫至高溫下保持其性能。FKM也可以在較寬的溫度范圍內保持良好的彈性。

低摩擦系數

PTFE的摩擦系數低,在密封過程中產生的摩擦較小,有利于延長設備的使用壽命。

低氣體滲透性

PTFE的低氣體滲透性有助于維持真空狀態,這對于旋轉蒸發儀等需要真空環境的設備非常重要。


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Heidolph 旋轉蒸發儀所使用的玻璃組件均由肖特玻璃制成,具有如下特點:

抗腐蝕、耐磨損

Heidolph 的玻璃組件具有高抗腐蝕性、抗熱沖擊性、耐外壓以及長壽命等特點。它能夠承受各種酸堿、腐蝕性介質的侵蝕和摩擦磨損。其均勻、透明、光滑的表面,便于實驗前后的清潔,它還具有抗紫外線的能力,而且玻璃管的高透明度和視覺效果不會受到涂層的影響。這些特性不僅有助于提高實驗的準確性,還能延長設備的使用壽命,確保實驗的安全性。

穩定的密封性

Heidolph 玻璃組件的生產工藝加工精度高,尺寸一致性好,冷凝器擁有標準端口直徑和法蘭尺寸,可以與其他材料直接氣密密封,從而加強了真空系統的密封性,降低了真空度泄露的風險,提高了實驗進度和效率。


Heidolph旋轉蒸發儀如何賦能半導體行業發展?

Heidolph旋轉蒸發儀所使用的管路系統滿足嚴格的衛生標準,采用高質量的材料和嚴格的制造工藝,使得它們能夠在特定的應用環境中安全有效地使用,還可以確保在蒸餾過程中不會對輸送的樣品造成污染。此外Heidolph旋轉蒸發儀的管路還具有如下優勢:

高度耐腐蝕

能夠抵御酸、堿、鹽等化學物質的侵蝕,確保輸送的樣品不受腐蝕性物質的影響。具有優異的耐久性,使用壽命長,不會輕易受到破損和腐蝕,減少了更換和維修的頻率。

高溫抗性和高強度

能夠承受高溫環境下的使用,不會變形或釋放有害物質。具有較高的強度和耐壓性能,能夠承受較大的水壓力,有利于系統的穩定運行。

安全衛生

不含有害物質,不會對水質或食品產生污染,確保輸送樣品的安全衛生。

END





關于Heidolph


Heidolph集團是創新型實驗室前處理設備的制造廠商。磁力攪拌器、頂置式攪拌器、臺式旋轉蒸發儀、工業大型旋轉蒸發儀、蠕動泵、混勻器、恒溫搖床等相關產品構成了Heidolph實驗室設備的產品線。集團總部位于德國南部的紐倫堡附近的施瓦巴赫市。

作為Heidolph集團全資子公司,海道爾夫儀器設備(上海)有限公司于2019年正式成立,旨在為中國用戶提供更為直接、更快速的服務。


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