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MKP氣體流量控制器VIC-D240
MKP氣體流量控制器VIC-D240
吳經理： 132.4667.5433
VIC-D240氣體流量控制器
特點：
因適用PTFE DISK，整個區間的回應時間快
對毒性和腐蝕性氣體的耐久性大幅增加
采用浪涌及耐電壓保護電路
通過溫度補正，在周圍溫度變化下也可維持準確度
產品配置
流量范圍(N2 標準)：5sccm~2500slm
流量控制范圍：滿量程的2 ~ 10%
準確度：滿量程的≤ ± 1%
回應時間：≤ 1.0 sec (10 ~ 10%)
線性；滿量程的≤ ± 0.2%
運轉原理；熱式
控制閥形式；Normally Closed Solenoid
密封種類；Elastomer (Viton, Viton-ETP, Kalrez, etc.)
輸入輸出信號；模擬性: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA
數字型: RS-485(Optional : DeviceNet, EtherCat)
MKP氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體的質量流量進行精密測量和控制；氣體質量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）用于對于氣體的質量流量進行精密測量。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。
電源供應；+15VDC ~ +24VDC
運轉溫度；5 ~ 50℃ (建議溫度范圍: 15 ~ 35℃)
連接器；Standard : D-SUB 9 pin Male
Optional : DeviceNet Micro style Connector, RJ45
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