將試樣放置到能量色散 X 射線熒光光譜儀的正確測量位置，測試樣品應置 于光斑區域內。如果需要，在光譜儀的測量室中建立所需的氣體環境并使其達到 穩定狀態。 檢測通常是在空氣環境下進行將未經使用的電線電纜護套或絕緣制成可以覆蓋能量色散 X 射線熒光光譜 儀的觀測（光斑）區域的試樣，從不同位置取材制備 3 個試樣。特別需要注意的 是，要保證不會探測到來自待測樣品以外的材料所發的熒光 X 射線。

每次測試前應選砷的物質作為質控樣品，質控樣品的測定應在每次 ED-XRF 篩選測試前，儀器能量校正后進行。如果其準確度超出了可接受范圍， 應檢查測試方法，找出問題根源，并及時糾正。

可用經驗系數法或基本參數法進行定量分析。 經驗系數法是通過物質 并結合能對基體和光譜干擾進行校正的算法建立

基本參數法能顯著降低物質的數量，可用純元素或化合物，或用少數幾 個給定基體組分的物質進行校準。采用基本參數法進行定量時，應使用與被 測樣品基體種類相匹配的物質進行驗證，確認方法的準確性。 采用聚氯乙烯 (PVC)物質作為校準曲