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產品簡介
NanoX-2000/3000 系列3D光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩定性）定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。
詳細介紹
NanoX-2000/3000系列3D光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩定性）定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。
NanoX-2000/3000系列3D光學干涉輪廓儀優勢
?美國硅谷研發的核心技術和系統軟件
?關鍵硬件采用美國、德國、日本等品牌
?PI納米移動平臺及控制系統
?Nikon干涉物鏡
?NI信號控制板和Labview64控制軟件
?TMC光學隔振臺
?測量準確度重復性達到高級水平(中國計量科學研究院證書)
