面是指固體表面一個或數個原子層的區域，是與外界進行物質交換和能量交換的通道，其性質（如化學組成、原子排列、電子狀態等）與體相具有諸多不同，但是材料的表面行為往往決定了材料/器件的功用和性能。因此，表面分析對于新材料、新技術的研發至關重要。常用的表面分析技術主要有XPS、AES和TOF-SIMS等，其中，AES技術能夠實現對納米尺度特征的表面進行化學分析。

俄歇電子能譜儀（Auger Electron Spectroscopy，AES）采用場發射電子源入射樣品的表面，激發出二次電子（用于形貌觀察）以及俄歇電子（用于成分分析）。AES主要用于分析固體材料表面納米深度的元素（部分化學態）成分組成，可以在納米級尺度下對表面形貌進行觀察和成分表征。AES的分析深度通常為4-50 Å，二次電子成像的空間分辨可達3 nm，成分分布像空間分辨可達8 nm，可分析材料表面元素組成（Li～U），是真正的納米級表面成分分析設備。可滿足合金材料、催化劑、半導體、新能源材料、電子器件等材料和產品的分析需求。

圖1. AES基本原理

應用案例賞析[1]

2020年12月17日，中國嫦娥五號探測器成功將1731克月壤帶回地球。鐵是一種多價態元素，是月壤的主要金屬成分。鐵的氧化態反映了氧化還原環境，與玄武巖行為、空間風化、撞擊誘發的變質等內外地質過程密切相關，影響著月球土壤的形成和演化。月壤中普遍存在納米級單質金屬鐵（Nanophase Iron Particles, np-Fe0），通過研究嫦娥五號月壤中鐵元素價態及分布特征，有望為np-Fe0的多種成因機制研究提供新依據。掃描俄歇納米探針具有很高的納米級表面分析靈敏度，同時還可以通過AES峰位及峰形分析土壤中鐵單質及其氧化物，因此是檢測樣品表面污染及氧化的有效手段。

圖2. 嫦娥五號月壤（CE5C0400YJFM00505）顆粒及掃描俄歇納米探針分析位置示意圖。

荷電效應是限制AES在絕緣地質材料分析中應用的主要缺陷。掃描電鏡SEM中常用的在樣品表面噴碳或其他導電層的方法對于AES是不可行的，因為在這種情況下噴涂的導電材料會阻礙AES探測到本體樣品。如圖2所示，月壤顆粒的研究采用厚度< 100 nm的超薄FIB切片對地質樣品進行AES分析，這樣可以有效克服了表面荷電效應，因為電子束可以穿透薄片樣品而傳導至導電樣品托。

圖3. （a）月壤FIB切片中各相（編號與圖2對應）的AES全譜；（b）Fe MNN的微分窄譜；（c）Fe MNN的積分窄譜。

在月壤富鐵納米相顆粒的價態和分布研究中，采用了PHI 700和PHI 710掃描俄歇納米探針設備，分析室真空小于 8.0 × 10-9 Torr，電子槍的加速電壓為10 kV，束流為5 nA。如圖3a所示，AES全譜數據表明FIB切片主要含有橄欖石、np-Fe0和硅基體。如圖3b所示，AES分析數據表明AP-1和AP-2是Fe。CE5C0400YJFM00505-G2中Fe0的表面分布是基于AES影像(圖4f)確定的，其分辨率達到納米級，與TEM的EDS圖像相當。但是，AES影像包含Fe的價態信息，而且其表面靈敏度高于EDS影像。該工作通過AES不僅證明了嫦娥五號月壤顆粒中存在不同價態的鐵元素，還獲取了顆粒上Fe元素在納米尺度上的二維分布，為np-Fe0歧化反應成因提供了初步證據。該工作以題為“In situ Investigation of the Valence States of Iron-bearing Phases in Chang’E-5 Lunar Soil using FIB, AES, and TEM-EELS Techniques”發表于《Atomic Spectroscopy》。 

圖4. (a) CE5C0400YJFM00505-G2的背散射電子圖像。綠色矩形表示FIB位點。(b) TEM-EDS測繪區域的高角度環形暗場(HAADF)圖像。(c) AES制圖區的HAADF圖像。(d) CE5C0400YJFM00505-G2提取的FIB箔HAADF圖像。(e)鐵的TEM-EDS圖像。(f) Fe0的AES影像。 

參考文獻

[1] Bing Mo, Zhuang Guo, Yang Li, Dan Zhu, Xiaojia Zeng, Xiongyao Li, Jianzhong Liu, and Yanxue Wu, In situ Investigation of the Valence States of Iron-bearing Phases in Chang’E-5 Lunar Soil using FIB, AES, and TEM-EELS Techniques. Atomic Spectroscopy. 2022, 43(1), 53-59. DOI:10.46770/AS.2022.014.