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射頻探針臺是一種高精度的設備，主要用于對芯片進行科研分析、抽查測試等用途。它的應用主要是使用探針直接測量晶圓或裸芯片的微波射頻參數。通過使用射頻探針，我們能夠在晶片層面上準確測量射頻組件的特性，從而縮短研發時間，降低新產品開發成本。探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導體測試系統配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單，例如連續性或隔離檢查，也可以很復雜，包括微電路的完整功能測試?？梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產過程中多次測試芯片器件，這可以提供有關哪些工藝步驟將缺陷引入最終產品的信息。
使用方法：
1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3.將射頻探針連接到待測半導體器件的Pad上，另一側通過同軸電纜連接。
4.通過計算機控制射頻探針的運動，實現對樣品的精準測量。
每次使用前需準備好本次測試的DUT和相應的探針與電纜，確認打開壓縮空氣、真空、電源等后，再按下電源鍵開機。待主機啟動完畢后預熱1-2分鐘，然后進行初始化。
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