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射頻探針臺(tái)是一種高精度的設(shè)備，主要用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析、抽查測(cè)試等用途。它的應(yīng)用主要是使用探針直接測(cè)量晶圓或裸芯片的微波射頻參數(shù)。通過(guò)使用射頻探針，我們能夠在晶片層面上準(zhǔn)確測(cè)量射頻組件的特性，從而縮短研發(fā)時(shí)間，降低新產(chǎn)品開發(fā)成本。探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針?lè)胖迷诠杈希瑥亩梢耘c測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來(lái)測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復(fù)雜，包括微電路的完整功能測(cè)試。可以在將晶圓鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過(guò)程中多次測(cè)試芯片器件，這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入最終產(chǎn)品的信息。
使用方法：
1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3.將射頻探針連接到待測(cè)半導(dǎo)體器件的Pad上，另一側(cè)通過(guò)同軸電纜連接。
4.通過(guò)計(jì)算機(jī)控制射頻探針的運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的精準(zhǔn)測(cè)量。
每次使用前需準(zhǔn)備好本次測(cè)試的DUT和相應(yīng)的探針與電纜，確認(rèn)打開壓縮空氣、真空、電源等后，再按下電源鍵開機(jī)。待主機(jī)啟動(dòng)完畢后預(yù)熱1-2分鐘，然后進(jìn)行初始化。
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