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EBSD即電子背散射衍射技術，是材料進行基本的取向測定和相結構鑒定的有效方法。其樣品制備的基本要求是：測試面要保持“新鮮”、平整，無任何應力（如彈、塑性應力），無任何污染，具有良好的導電性。
本文中的樣品是厚度約為塊狀紫銅材料，需要對其進行EBSD分析前的制備。在能滿足樣品制備的基本要求的基礎上，采用了較清潔、高效的方法：機械拋光+離子束拋光。
01
鑲嵌
為使后續能夠半自動研磨拋光，將樣品鑲嵌至合適的尺寸。因為EBSD技術要求樣品導電，可選用導電樹脂進行鑲嵌。鑲嵌尺寸控制D38 x H12mm內，便于后續的離子束拋光。
02
研磨拋光
鑲嵌后的樣品，將進行機械研磨與拋光，步驟如下表：
表1.研磨拋光耗材與參數
備注：紫銅較軟，細微劃痕難去，可在第5步拋光后做適當腐蝕后，再重復第5步，可去除大部分細劃痕。
機械拋光后，效果如下光鏡圖：
圖1. 機械拋光后的“新鮮” 、平整表面
03
離子束拋光
機械拋光后的樣品表面，仍不可避免地存在一些應力損傷，需要通過適當的去應力處理后才能進行EBSD分析。
在此案例中選擇使用離子束拋光的方式，該方式是通過帶著一定能量的氬離子將樣品表面的損傷層，以原子形式一顆顆地轟擊掉，最終獲得無損傷且無污染的表面。
拋光參數如下：
表2.離子拋光參數
離子拋光后，形貌如下電鏡圖：
圖2. 機械拋光+離子束拋光后無損無污染的“新鮮” 、平整表面
圖3. 機械拋光+離子束拋光后的IPF圖
* 表1、表2中參數僅供參考，具體依材料而定。
本次試驗所用設備如下
appliance
Buehler SimpliMet4000熱鑲機
Buehler EcoMet30磨拋機
Leica EM TIC3X三離子束切割儀
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