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硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和硅氫化合物。目前應用多的是甲硅烷，一般把甲硅烷簡稱做硅烷。硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。因其高純度和能實現(xiàn)精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業(yè)，用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層。硅烷的高科技應用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術、新材料、新器件的基礎。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和的燃燒能量，決定了它是一種高危險性的氣體。
硅烷氣體泄漏檢測主要特點：
速核系統(tǒng)：采用高精度32位高速微處理器，Epsion數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，速測危害氣體，高效預警毒氣泄漏。
多級標定：業(yè)內(nèi)智能化多級校準技術，多重濾波技術，更精準更快速地反饋現(xiàn)場濃度值。
自動標定：通入實際標氣，無需標定員操作，智能識別標定。
穩(wěn)定性：經(jīng)過嚴格的進料篩選工序，及行業(yè)經(jīng)驗十幾年的研發(fā)人員匠心打造，抗EMC、EMI干擾，大幅度提高偵察兵的可靠性。
多結構的通訊方式：支持4-20mA與RS485單路或多路同時通訊，有線與內(nèi)置無線433M/GPRS等無線多路通訊（選配）。
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