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半導體晶圓測試探針臺集成度高，功能實用，性價比的模塊化探針臺，該探針臺系統(tǒng)包括顯微成像模塊、四維調(diào)整載物臺、真空吸附系統(tǒng)、探針座、探針臺體等。多用于晶圓測試、LED測試、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、太陽能電池片測試、材料電阻率測試以及用于搭建材料電學測試系統(tǒng)、光電探測器光電響應(yīng)系統(tǒng)、光電Mapping測試系統(tǒng)等。
應(yīng)用領(lǐng)域：
半導體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產(chǎn)檢測、航空航天實驗等。
細節(jié)介紹：
1.顯微鏡位移裝置：
集成高精度高穩(wěn)定性手動位移臺
XYZ行程50mm，精度1um
整體交叉滾珠導軌，高精度，高穩(wěn)定性
整體材質(zhì)航空鋁合金
2.顯微成像系統(tǒng)
可用于硅封裝的內(nèi)部觀測和光譜特性分析，需要紅外光源和紅外攝像機
選用2X、5X、10X、20X、50X四種物鏡，工作距離分別是34.6mm，45mm，34mm，30.8mm，20.5mm，鼻輪支架帶五孔鼻輪
3.探針臺臺體：
底部整體鋁合金面包板，表面噴砂氧化黑
兩邊半圓形探針架，可以放置最多6個探針座，方便放置探針卡
集成4路吸附開關(guān)，方便吸附
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