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在線質譜儀是一種用于工業生產流程中的質譜儀，主要用于工藝過程的在線氣體分析及其他相關的檢測。
在線質譜儀通常包括進樣系統、離子源、質量分析器、離子檢測器、真空系統和數據處理系統。其中，進樣系統、離子源、質量分析器和離子檢測器是質譜儀的核心部分。
在線質譜儀應用于工業流程進行過程分析，一般都是定量分析，而且都是多道的。多道質譜儀加速電壓固定，在離子分離器離子出射端設多個出射狹縫，每個狹縫對應一個質荷比，用于檢測氣體試樣中一種組分的含量。它可對工業流程中的氣體或蒸汽進行定性、定量實時檢測。它的特點是分析速度快，精密度高，可同時進行多組分分析。
在線質譜儀的主要功能包括：
應用于殘余氣體分析(RGA)、催化研究(如TPR、TPD、TPO)、環境尾氣分析、氣體純度分析、反應動力學等。
具有高靈敏度，能夠檢測到非常低濃度的化合物，因此在環境污染物的監測和食品、藥品中殘留物的檢測中很重要。
具備高選擇性，能夠通過不同的離子檢測方式，實現對樣品中各種化合物的高選擇性檢測。
配備好的數據處理和分析軟件，能夠快速、準確地處理大量的數據，及時獲得分析結果。
通常采用自動化采樣和分析系統，能夠實現連續、自動的樣品分析，提高分析效率。
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