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氣體質(zhì)譜儀應(yīng)用的領(lǐng)域廣泛：如真空科學(xué)工業(yè)中加速器、高真空、高真空系統(tǒng)和器件中的氣體分析，航天航空工業(yè)中燃料箱、發(fā)動機(jī)、密封倉安全檢漏、多種氣體分析；電子工業(yè)中真空鍍膜、微波管、彩色顯像管等生產(chǎn)中的氣體分析，環(huán)境監(jiān)測中車載(船載)質(zhì)譜監(jiān)測、土壤、水質(zhì)、空氣質(zhì)量分析以及表面科學(xué)分析、痕量氣體分析、催化反應(yīng)監(jiān)測、石油化工、冶金、熱重儀器的氣體分析等多個方面。
體質(zhì)譜分析儀可檢測*低含量的冷凝性或反應(yīng)性氣體,金屬件與被測氣體的接觸面小，不發(fā)生化學(xué)反映，可控溫的進(jìn)氣管道(毛細(xì)管)，定性分析熱解中產(chǎn)生的所有氣體，經(jīng)由類比輸入模組，輸入熱分析儀的資料(如：溫度,標(biāo)樣重量,重量減少的差值)。
在線氣體質(zhì)譜儀的工作流程：氣體樣品→進(jìn)樣系統(tǒng)→離子源→質(zhì)量分析器→離子檢測器→數(shù)據(jù)處理及控制系統(tǒng)，離子源、質(zhì)量分析器、離子檢測器必須在真空下工作(10–4pa)。
進(jìn)樣系統(tǒng)--可用卡套直接把樣品毛細(xì)管接到反應(yīng)器，通過持續(xù)不斷的進(jìn)樣、快速的檢測，實時在線檢測樣品氣體的種類和含量的變化。進(jìn)樣壓力(100mbar-2bar)，響應(yīng)時間可短至300ms。進(jìn)樣毛細(xì)管主要有石英毛細(xì)管和不銹鋼毛細(xì)管兩種。石英不會和酸性氣體反應(yīng)且氣體不容易吸附在其表面。
在線質(zhì)譜儀主要包括以下幾個部分：
(1)進(jìn)樣裝置 進(jìn)樣裝置是將待測樣品引入在線質(zhì)譜儀進(jìn)行檢測的部件，在實際應(yīng)用中，由于在線質(zhì)譜儀分析速度快、常用于多位點監(jiān)測，氣體壓力、溫度、濃度不同，需要選擇能滿足不同要求的進(jìn)樣裝置，通常有多位旋轉(zhuǎn)閥、電磁閥、進(jìn)樣孔、膜進(jìn)樣等等。
(2)離子源 離子源是將氣體樣品分子進(jìn)行離子化并進(jìn)行離子聚焦的部件。在線質(zhì)譜由于分析的都是氣體，電子轟擊電離(EI)成為應(yīng)用廣泛的一種電離方式。EI源是通過加熱燈絲釋放電子轟擊氣體分子，將其電離產(chǎn)生離子(分子離子和碎片離子)，再通過聚焦電壓的作用對離子進(jìn)行聚焦并引出。
EI源具有離子化效率高、靈敏度高的特點，能夠提供豐富的結(jié)構(gòu)信息，在70eV的條件下獲得穩(wěn)定的“指紋”圖譜，具有好的定性能力。
(3)質(zhì)量分析器 由離子源產(chǎn)生的離子在質(zhì)量分析器按照質(zhì)荷比的大小進(jìn)行分離。目前用于在線分析質(zhì)譜儀的質(zhì)量分析器類型主要有四極桿和扇形磁場兩種。扇形磁場質(zhì)量分析器是出現(xiàn)早的質(zhì)量分析器，其主要部件是電磁鐵，離子源發(fā)出的離子束在加速電極電場的作用下，進(jìn)入磁場后發(fā)生偏轉(zhuǎn)做圓周運動，不同質(zhì)荷比的離子圓周半徑不同而達(dá)到分離。
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