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封面文章！原位聯合顯微分析新突破，一臺設備實現多種顯微表征模式
論文題目：A Highly Integrated AFM-SEM Correlative Analysis Platform
發表期刊：Microscopy TODAY
DOI：https://doi.org/10.1093/mictod/qaad083
【引言】
在聯合顯微分析領域，科學家們通常使用不同的現代顯微分析手段對同一樣品的物理性能進行表征。相比于單一的表征手段，聯合顯微分析可以對樣品進行更全面、更綜合的性能表征。目前，聯合顯微分析手段主要為：首先對樣品進行光學/電子顯微成像（SEM）；其次，在顯微成像的基礎上，通過原子力顯微鏡（AFM）表征樣品，最終獲得樣品的二維，三維，甚至四維的信息。隨著原位聯合顯微分析的發展，為了減少樣品在不同表征設備間轉移過程中所帶來的問題，將樣品在一臺設備中進行各類微區表征的需求日益增加。然而，在不同表征方式間微區定位問題及工作流依然沒有很好的解決方案。
【成果簡介】
近日，Quantum Design Microscopy團隊基于現有的原位聯合顯微分析的需求，推出了成熟的FusionScope多功能顯微鏡。在FusionScope中，利用自主研發的共坐標系統讓SEM實時、快速、精準導航AFM針尖，創新性地實現了SEM和AFM的精準微區定位。同時團隊優化了設備的SEM和AFM工作流，解決了AFM和SEM原位無縫切換的關鍵問題。系統也無需轉移樣品，原位進行-10°-80° AFM與樣品臺同時旋轉，全程無視野盲區觀測樣品，尤其適用于復雜樣品表征。FusionScope系統中除了可以對樣品進行SEM和AFM形貌表征，還可以對樣品進行力學性能表征（FIRE），磁學性能表征（MFM）, 導電原子力顯微表征（c-AFM），靜電力標準（EFM）和開爾文顯微表征（KPFM）。相關工作以《A Highly Integrated AFM-SEM Correlative Analysis Platform 》為題在顯微表征領域專業SCI期刊《Microscopy TODAY 》上發表。
【圖文導讀】
圖1. FusionScope及組成模塊介紹：（A）FusionScope緊湊型的整體設計，（B）AFM-SEM公用的樣品腔及多種表征模式，和（C）AFM-SEM聯合共坐標系統示意圖。（B）中SEM為掃描電子顯微鏡；AFM為原子力顯微鏡，Static為靜態模式，Dynamic為動態模式，FIRE為力學測量模式，MFM為磁學測量模式，EFM為靜電力測量模式。
圖2. FusionScope及主要組成部件。上圖中A為AFM模塊，B為SEM電子槍，C為樣品臺，D為旋轉平臺，E為二次電子探測器。下圖當樣品腔充氣打開樣品腔門后，旋轉平臺可以向前滑出，方便更換樣品。
圖3. （A）傾斜角為0度和（B）80度時的SEM成像示意圖。（C）下面三張圖為在不同基底上不同探針，在傾斜后的SEM成像結果。
圖4. 上圖AFM探針在刀片邊緣的SEM圖像，中圖為刀片邊緣的AFM圖像，下圖為從中圖的不同位置所獲得的具有納米級分辨率的刀片邊緣鋒利度信息。
圖5. FusionScopeTM將SEM和AFM操作整合在一起的用戶軟件應用界面。
圖6. 上圖為將2D的SEM和AFM測量結果組合在一起的表征結果，下圖為上圖方框區域內的3D表征結果。測試所用的樣品具有周期性圓形凹坑結構，高坑結構直徑約為5 μm，深度約為600 nm。
圖7. （A）通過聚焦電子束趁機所獲得的Pt納米線陣列，（B）在SEM的引導下，將AFM針尖精確地定位到納米線上方。
圖8. SEM對利用AFM針尖壓彎Pt納米線并撤回的連續過程進行記錄。
圖9. （A）在SEM進行錄像的條件下，在AFM針尖壓納米線所獲得的的力-距離曲線。（B）和（C）通過模型所獲得的納米線和AFM探針的力-形變曲線。
圖2. FusionScope及主要組成部件。上圖中A為AFM模塊，B為SEM電子槍，C為樣品臺，D為旋轉平臺，E為二次電子探測器。下圖當樣品腔充氣打開樣品腔門后，旋轉平臺可以向前滑出，方便更換樣品。
圖3. （A）傾斜角為0度和（B）80度時的SEM成像示意圖。（C）下面三張圖為在不同基底上不同探針，在傾斜后的SEM成像結果。
圖4. 上圖AFM探針在刀片邊緣的SEM圖像，中圖為刀片邊緣的AFM圖像，下圖為從中圖的不同位置所獲得的具有納米級分辨率的刀片邊緣鋒利度信息。
圖5. FusionScopeTM將SEM和AFM操作整合在一起的用戶軟件應用界面。
圖6. 上圖為將2D的SEM和AFM測量結果組合在一起的表征結果，下圖為上圖方框區域內的3D表征結果。測試所用的樣品具有周期性圓形凹坑結構，高坑結構直徑約為5 μm，深度約為600 nm。
圖7. （A）通過聚焦電子束趁機所獲得的Pt納米線陣列，（B）在SEM的引導下，將AFM針尖精確地定位到納米線上方。
圖8. SEM對利用AFM針尖壓彎Pt納米線并撤回的連續過程進行記錄。
圖9. （A）在SEM進行錄像的條件下，在AFM針尖壓納米線所獲得的的力-距離曲線。（B）和（C）通過模型所獲得的納米線和AFM探針的力-形變曲線。
【結論】
從論文中不難看出Quantum Design公司推出的FusionScope多功能顯微鏡，通過共坐標系統，解決了原位聯合顯微分析中不同表征方式無法共享微區的問題，又通過優化AFM和SEM工作流給用戶提供了一個清晰簡單的操作流程。FusionScope可以通過更換不同AFM探針，實現對樣品三維形貌，力學性能，電學性能和磁學性能的綜合物性表征，廣泛適用于材料學，MEMS，芯片等領域的研究。
樣機體驗：
為了更好的為國內科研工作者提供專業技術支持和服務，Quantum Design中國北京樣機實驗室開放Fusionscope多功能顯微鏡樣機體驗活動，我們將為您提供樣品測試、樣機參觀等機會，歡迎各位老師垂詢！
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