三通道混氣CVD系統(tǒng)的使用注意事項

來源：上海添時科學(xué)儀器有限公司 2023年12月23日 13:42

三通道混氣CVD系統(tǒng)殼體結(jié)構(gòu)：

雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷。

保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環(huán)保節(jié)能。

內(nèi)爐膛表面涂有美國1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命可開啟式，更換爐管方便。

溫控系統(tǒng)：

三個精密溫度控制器，可獨立控溫PID控制方式，通過PWM固體繼電器。

30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀，并可設(shè)置30段升降溫程序。

帶有過熱和斷偶保護功能。

使用注意事項：

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa會更加精確安全。

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

石英管的長時間使用溫度＜1100℃對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。

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