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微量氧分析儀主要用于工業在線、實驗室以及瓶裝高純N2、Ar、He、Ne和混合氣體中的微量氧、痕量氧的快速檢測，尤其適用于空分裝置和各氣體分裝廠高純氣體中微量、痕量氧的檢測;同時也適用于石油化工、冶金等行業的高純工藝性氣體、保護性氣體中微量氧的快速檢測。
微量氧分析儀測定因素的影響：
1.泄漏。
微量氧分析儀初次啟用前必須嚴格檢漏，只有在嚴密不漏的前提下才能獲得準確的數據結果。任何連接點，焊點，閥門等處的不嚴密，將會導致空氣中的氧反滲進入管道及氧分析儀內部，從而得出含氧量偏高的結果。
2.污染。
在重新使用儀器時，首先要確認連接氧分析儀的取樣管路時是否漏入空氣，將漏入的空氣吹除干凈，盡量不使大量氧氣通過傳感器。
3.管道材質的選擇。
儀器管道的材質及表面粗糙度也將影響樣氣中氧含量的變化。一般不宜用塑料管，橡膠管等作為連接管路。氧氣微氧分析儀通常選用銅管或不銹鋼管，對超微量分析(指<0.1ppm)則必須用拋光過的不銹鋼管。
4.氣路系統的簡化及潔凈。
要求必須有效排除氣路上的各種管件，閥門，表頭等中的死角對樣氣造成的污染。因此，應盡可能簡化氣路系統，選用死角小的連接件等。避免使用水封，油封及臘封等設備，防止溶解氧逸出造成污染。只有這樣才能保證系統潔凈，所得數據準確。
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