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與光學顯微鏡相比,掃描式電子顯微鏡具有哪些優點

來源:復納科學儀器(上海)有限公司   2023年10月21日 11:35  
  掃描式電子顯微鏡是一種高分辨率的顯微鏡,利用電子束與樣品進行相互作用來獲取樣品表面的詳細形貌和組織結構信息。在繼承了Phenom(飛納)產品操作方便、30秒快速成優質圖像、售后無憂等優點的同時,電鏡分辨率和圖像質量顯著提高。采用了壽命高達1500小時的新一代CeB6燈絲和分辨率更高,功能更全的光學顯微鏡,提高后的光學顯微鏡有聚焦功能,放大倍數在20-120倍之間,具備明場和暗場兩種模式。

  與光學顯微鏡相比,掃描式電子顯微鏡具有以下優點:

  高分辨率:SEM的分辨率較高,可以觀察到納米級別的細節。

  大深度焦點:由于采用了聚焦系統,SEM具有較大的深度焦點,使得樣品表面和深層結構都能夠清晰顯示。

  大樣品觀察:相比于光學顯微鏡,SEM可以觀察到較大的樣品,不受限于透明性和薄度。

  表面成分分析:SEM可以通過X射線探測器對樣品進行元素成分分析,以獲取樣品的化學信息。

  掃描式電子顯微鏡在材料科學、生物學、納米技術、電子工程等領域得到廣泛應用,對研究和分析微觀結構至關重要。

  EM使用電子槍產生高速電子束。這些電子經過加速器和聚焦系統后,形成細束并聚焦在樣品表面上。高速電子束與樣品表面相互作用,產生多種信號。主要包括二次電子信號、反射電子信號、X射線等。SEM通過不同的探測器來收集這些信號。常見的探測器包括二次電子探測器和反射電子探測器。收集到的信號被轉換成電子圖像,并通過電子顯像系統顯示在監視器上。這些圖像能夠呈現樣品表面的形貌、紋理和微觀結構。

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