探針臺是半導體行業重要的檢測裝備之一,其廣泛應用于復雜、 高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。位移探針臺可以在測試準備和測試過程中準確移動探針位置,實現微米級別的電極接觸;同時探針前端可調整角度和長度,從而適應樣品范圍更加廣泛。
位移探針臺用途:
1.用于光刻器件的高低溫光電測試;
2.用于IV、介電常數、霍爾效應、射頻、低溫電路等測試;
3.可拓展低溫溫控和真空管路模塊,實現液氮溫度測量。
探針臺可以固定晶圓或芯片,并準確定位待測物。探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針*端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針*端都被設置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導體測試系統配合來測試芯片/半導體器件。
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